半导体行业科创板系列·四：中微公司

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1、内容目录1.公司介绍41.1.公司人员情况41.2.股权结构61.3.公司业务情况61.3.1.模块化生产提升效率，少数客户依赖性降低61.3.2.以销定产灵活度较高，技术附加值提高设备毛利率81.3.3.研发投入逐年增长，产品获业内广泛认可81.4.公司财务情况91.4.1.营收快速增长，盈利能力持续增强91.4.2.经营性现金流恢复正值，资产结构改善92.高端半导体设备扩产升级103.行业市场容量及竞争格局123.1.半导体市场空间广阔，国产代替势在必行123.2.设备决定芯片制造基础，MOCVD设备反映

2、LED产能124.行业同水平公司对比15图表目录图1：中微半导体发展历程4图2：中微半导体股权结构6图3：刻蚀设备生产工艺流程6图4：MOCVD设备生产工艺流程6图5：中微半导体营业收入及增速/亿元9图6：中微半导体净利润及增速/亿元9图7：中微半导体经营性现金流及增速/亿元10图8：中微半导体流动比率与速动比率10图9：中微半导体存货与应收票据及应收账款/亿元11图10：中微半导体员工人数及支付员工薪酬/亿元11图11：中国半导体集成电路市场规模12图12：半导体设备支撑芯片制造产业13图13：全球半导体设

3、备销售额/亿美元13图14：集成电路设备销售额占比13图15：晶圆制造设备销售额占比13图16：国产半导体设备销售额/亿元14图17：中国LED行业产值/亿元14表1：公司人员任职情况5表2：2018年员工专业结构/人5表3：中微半导体销售模式（万元）7表4：中微半导体主要客户7表5：中微半导体设备收入构成/万元7表6：中微半导体设备产销量（腔）8表7：中微半导体设备毛利率8表8：中微半导体研发投入（万元）8表9：中微半导体主要产品9表10：可比公司毛利率9表11：募集资金投资方向/万元10表12：募集资金时

4、间周期和时间进度11表13：全球五大半导体设备制造商14表14：可比行业公司EPS、PE对比15表15：公司毛利率与竞争公司对比151.公司介绍中微公司是一家高端半导体微观加工设备公司，是我国集成电路设备行业的领先企业。公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，通过向全球集成电路和LED芯片制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量服务。中微公司聚焦用于离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等集成电路制造关键设备。中微半导体的主要产品包括刻蚀机和MOCVD设备。其中刻蚀机有等离子体刻蚀机和硅通孔刻蚀机两种。

5、等离子体刻蚀设备主要用于芯片制造环节，而硅通孔刻蚀设备是芯片封装的重要设备之一。刻蚀机按照前段光刻机描绘的线路对晶片进行更深入的微观雕刻。自2004年成立伊始，中微公司首先开发甚高频去耦合等离子体刻蚀设备PrimoD-RIE，到目前为止已成功开发了双反应台PrimoD-RIE、双反应台PrimoAD-RIE和单反应台PrimoSSCAD-RIE三代刻蚀设备，涵盖65纳米、45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米和5纳米微观器件的众多刻蚀应用。2012年中微公司开发电感性等离子体刻蚀设备，到目前

6、为止已成功开发单反应台Primonanova刻蚀设备，并同时开发双反应台电感性等离子体刻蚀设备，主要涵盖14纳米以下微观器件的刻蚀应用。中微公司还针对集成电路先进封装和MEMS传感器产业发展的市场需求，开发了广泛应用于这些领域的电感性等离子体深硅刻蚀设备。中微的MOCVD设备是LED芯片制造的关键设备。它的数量甚至被认为是衡量LED行业产能的指标。薄膜沉积设备方面，2010年中微公司开始开发用于LED器件加工中最关键的设备——MOCVD设备。公司已开发了三代MOCVD设备，该设备是一种高端薄膜沉积设备，主要用

7、于蓝绿光LED和功率器件等生产加工，包括第一代设备PrismoD-Blue、第二代设备PrismoA7及第三代更大尺寸设备。图1：中微半导体发展历程资料来源：招股说明书，1.1.公司人员情况公司现有董事11名，其中独立董事4名。公司现有监事3名。表1：公司人员任职情况序号姓名类别1董事会（11人）尹志尧董事长、总经理2沈伟国董事3朱民董事4杨征帆董事5张亮董事6陈立武董事7杜志游董事长、副总经理8陈大同独立董事9陈世敏独立董事10孔伟独立董事11张卫独立董事监事会（3人）1余峰监事会主席2俞信华监事3王志军先

8、生监事高级管理人员（6人）1尹志尧董事长、总经理2杜志游董事长、副总经理3朱新萍副总经理4倪图强副总经理5陈伟文副总经理、财务负责人6刘晓宇董事会秘书核心技术人员（6人）1尹志尧董事长、总经理2杜志游董事长、副总经理3倪图强副总经理4麦仕义副总裁5杨伟副总裁6李天笑副总裁资料来源：招股说明书，2018年，公司总人数为653人，其中主要以研发人员为主，占比36.75，其次为工程技术人员，占比21.59