硅芯拉制操作规程

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1、ReneSolaLtd集团管理制度文件名称硅芯拉制岗位操作规程共10页第10页文件编号XX-XXX-XX·00版本2010A编制部门后处理车间所属机构瑞能集团替代文件无生效日期2010年5月31日文件编号：XX-XX-XX.00页数：共XX页第X页ReneSolaLtd硅芯拉制岗位操作规程　一级管理文件　二级管理文件编制：鲜洪编制部门负责人审核：内控部审核：批准：批准执行日期：共10页第10页ReneSolaLtd集团管理制度文件名称硅芯拉制岗位操作规程共10页第10页文件编号XX-XXX-XX·00版本2010A编制部门后处理车间所属机构瑞能集团替代文件无生效日期2010年5月31日本管理

2、文件修订历史信息：当前版本:最新更新日期:2010-6-6最新更新作者:鲜洪原始编撰人鲜洪批准人历史版本更新日期修订者批准人主要修订摘要共10页第10页ReneSolaLtd集团管理制度文件名称硅芯拉制岗位操作规程共10页第10页文件编号XX-XXX-XX·00版本2010A编制部门后处理车间所属机构瑞能集团替代文件无生效日期2010年5月31日1目的42适用范围43名词解释43.1硅芯料43.2硅芯43.3硅芯大头43.4籽晶44基本资源44.1人力资源44.2设备资源及控制参数45质量指标55.1生产材料质量指标55.2产成品质量指标66生产原理及工艺流程方框图66.1生产原理66.2工

3、艺流程方框图66.3工艺流程说明67拉制过程控制67.1装炉前的准备67.2装炉77.3拉制78停炉取硅芯99停车910拉制硅芯的一般事故处理910.1停电910.2停循环冷却水910.3停氩气1011引用资料1012生产报表样式10共10页第10页ReneSolaLtd集团管理制度文件名称硅芯拉制岗位操作规程共10页第10页文件编号XX-XXX-XX·00版本2010A编制部门后处理车间所属机构瑞能集团替代文件无生效日期2010年5月31日目的指导四川瑞能硅材料责任有限公司后处理车间硅芯拉制岗位硅芯炉的使用说明以及硅芯生产的工艺流程。1适用范围本操作规程适用于四川瑞能硅材料责任有限公司后处

4、理车间硅芯拉制岗位基座区熔拉制法制备三氯氢硅氢气还原用多晶硅硅芯种子。2名词解释2.1硅芯料硅芯料：本公司还原炉生长出来的直径均匀在29~47之间表面平整的硅棒，经加工、腐蚀清洗后用于区熔拉制硅芯的原材料。2.2硅芯硅芯：直径均匀在8-10mm之间长度为2600mm一端有“大头”的圆柱状多晶硅晶体，用于三氯氢硅氢气还原法生产多晶硅时还原炉内沉积多晶硅的载体。2.3硅芯大头硅芯大头：直径大于16mm长度在20~25mm之间生长于硅芯一端的圆柱状多晶硅晶体，成品时加工成“U”型，用于还原炉内搭接“П”型桥架时放置硅芯横梁。2.4籽晶籽晶：取至于硅芯的一段长度分两类，一类长度在80mm左右，在硅芯

5、拉制的开始阶段用于硅芯料预热和硅芯的引晶。另一类长度在50mm左右，为拉制一炉硅芯的第二至第四根硅芯引晶用。3基本资源3.1人力资源上岗操作人员应具有高中或中专及以上学历，经公司安全和专业技能培训并经考试合格方可上岗。3.2设备资源及控制参数3.2.1设备资源共10页第10页ReneSolaLtd集团管理制度文件名称硅芯拉制岗位操作规程共10页第10页文件编号XX-XXX-XX·00版本2010A编制部门后处理车间所属机构瑞能集团替代文件无生效日期2010年5月31日设备资源：GX31E型硅芯炉30台1.1.1设备主要参数设备主要控制参数上轴有效行程3100mm上轴快速升/降0∽600mm/

6、min,1200mm/min两档上轴慢速升/降0∽30mm/min下轴有效行程550mm下轴慢速升/降0.2∽5mm/min下轴快速升/降0∽50mm/min,200mm/min两档下轴转速30rpm设备主要技术参数加热电源电压3相380V高频感应加热振荡频率2.2±0.2MHZ最大振荡功率60KV生产能力4根/炉次开炉真空度≤3Pa循环冷却水压力0.13∽0.18MPa循环冷却水流量8T/h2质量指标2.1生产材料质量指标2.1.1硅芯料质量指标主要电学参数Ω.cm以本公司分析检测中心实际检测、分类结果为准直径mm29∽47还原炉号硅棒批号长度mm见附件2说明：①把同N型号的籽晶按电阻率高

7、低分类，拉低阻硅芯时用低阻籽晶，拉高阻硅芯时用高阻籽晶②硅芯料选用无氧化夹层和孔洞，直径均匀，表面平整的多晶硅棒。③电学参数以本公司分析检测中心实际检测、分类结果为准。2.1.2氩气质量指标氩气：纯度≥99.999%总碳含量≦2ppm氢含量≦1ppm氧及氧化物含量≦2ppm氮含量≦50ppm水含量≦4ppm2.1.3炉膛檫洗试剂无水乙醇（优级纯及更高）丙酮（优级纯及更高）共10页第10页ReneSolaLtd