多晶硅铸锭工艺流程讲解

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1、铸定工艺讲解铸定工艺讲解阶段步骤时间/HHeat54Melt1212Growth725Anneal33Cool910本资料来源于网络，版权归原著作所有，禁止使用于一切商业行为，仅供交流学习用！请在下载后24小时内删除！加热（加热（HeatHeat））¢加热的概念就是在尽可能短的时间内将石加热的概念就是在尽可能短的时间内将石墨块和硅料加热到尽可能高的温度墨块和硅料加热到尽可能高的温度¢因为当温度低于因为当温度低于100100℃℃时时,,温度控制就不能很温度控制就不能很稳定地控制温度稳定地控制温度,,所以不能用来控制炉子所以不能用来控制炉子,,必必须在功率模式下进行加热．须在功率模式下进行加

2、热．¢在真空中完成加热期间的所有阶段，这样在真空中完成加热期间的所有阶段，这样可以烘焙石墨块和隔热层吸收的水分且从可以烘焙石墨块和隔热层吸收的水分且从硅料表面蒸发出去．硅料表面蒸发出去．本资料来源于网络，版权归原著作所有，禁止使用于一切商业行为，仅供交流学习用！请在下载后24小时内删除！加热（加热（HeatHeat））¢利用功率控制模式加热石墨块内部件（包括加热利用功率控制模式加热石墨块内部件（包括加热器，坩埚板，器，坩埚板，DSDS--BlockBlock和隔热层的内表面）将热和隔热层的内表面）将热量传送给熔体，使熔化温度达到量传送给熔体，使熔化温度达到11751175℃℃（（TC1T

3、C1热热电偶测量此转换温度）。功率控制模式下的硅料电偶测量此转换温度）。功率控制模式下的硅料仍然是黑色的，它的温度一定低于仍然是黑色的，它的温度一定低于500500℃℃且隔热层且隔热层外表面也很冷，所以不会很容易地排出吸收的水外表面也很冷，所以不会很容易地排出吸收的水分。分。¢当当TC1TC1热电偶达到转换到主参数表里热电偶达到转换到主参数表里““温度控制温度控制””时时温度后便开始执行温度控制，程序将结束加热温度后便开始执行温度控制，程序将结束加热,,开开始熔化过程．始熔化过程．本资料来源于网络，版权归原著作所有，禁止使用于一切商业行为，仅供交流学习用！请在下载后24小时内删除！熔化熔

4、化((Melt)Melt)¢●仍然在真空中完成熔化循环的第一个阶段以烘●仍然在真空中完成熔化循环的第一个阶段以烘干水分。保持恒定温度（干水分。保持恒定温度（11751175℃℃）长达）长达1.51.5个小时个小时使硅料温度与石墨块温度相同且排出水分，油和使硅料温度与石墨块温度相同且排出水分，油和油脂。油脂。¢●然后，在几个较短的阶段里将压力增加到规定●然后，在几个较短的阶段里将压力增加到规定值，继续熔化和生长。再经过几个阶段以防激活值，继续熔化和生长。再经过几个阶段以防激活压力偏差报警。在此期间，温度按一定斜率发生压力偏差报警。在此期间，温度按一定斜率发生微变，这样可以尽可能缩短整个循环

5、时间。微变，这样可以尽可能缩短整个循环时间。¢●温度按一定斜率上升到最后的熔化温度●温度按一定斜率上升到最后的熔化温度15401540℃℃且在规定的时间内一直保持这个温度，使硅料完且在规定的时间内一直保持这个温度，使硅料完全熔化。全熔化。本资料来源于网络，版权归原著作所有，禁止使用于一切商业行为，仅供交流学习用！请在下载后24小时内删除！熔化熔化((Melt)Melt)¢在随后的两个阶段后开始熔化，首先在温在随后的两个阶段后开始熔化，首先在温度按一定斜率上升阶段结束时做一些更度按一定斜率上升阶段结束时做一些更改，再设定功率值。上述操作历时改，再设定功率值。上述操作历时22个小个小时，在熔

6、化阶段结束时，缓慢地线形降低时，在熔化阶段结束时，缓慢地线形降低功率值。功率值。DSDS--BlockBlock温度也很稳定，已经达温度也很稳定，已经达到了到了““平稳状态平稳状态””（在这种状态下，温度变化（在这种状态下，温度变化极小）。极小）。本资料来源于网络，版权归原著作所有，禁止使用于一切商业行为，仅供交流学习用！请在下载后24小时内删除！融化结束屏幕融化结束屏幕本资料来源于网络，版权归原著作所有，禁止使用于一切商业行为，仅供交流学习用！请在下载后24小时内删除！熔化熔化¢在下一个阶段里，利用熔化结束功能激活熔在下一个阶段里，利用熔化结束功能激活熔化结束子程序。这个子程序在功率曲

7、线图中化结束子程序。这个子程序在功率曲线图中寻找一个比主参数表中规定的熔化结束时功寻找一个比主参数表中规定的熔化结束时功率变化率报警值大的变化值。该子程序也在率变化率报警值大的变化值。该子程序也在DSDS--BlockBlock中间的热电偶测量温度曲线中寻找中间的热电偶测量温度曲线中寻找一个最小温度。如果找到的每一个参数都令一个最小温度。如果找到的每一个参数都令人满意，将会打开一个窗口命令操作工确熔人满意，将会打开一个窗口命令操作工