高速磨削陶瓷窄深槽加工工艺的研究

《高速磨削陶瓷窄深槽加工工艺的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、2008年6月总第165期第3期金刚石与磨料磨具工程Diamond＆AbrasivesEngineeringJune2008Serial．165No．3文章编号：1006—852X(2008)03—0078—03高速磨削陶瓷窄深槽加工工艺的研究王爱珍王战(郑州磨料磨具磨削研究所，郑州450013)摘要本文进行了陶瓷基板上高速磨削加工宽0．1000．01mm、深0．2～0．4mm窄深槽工艺试验研究，得出能够满足加工要求的最佳工艺参数是：主轴转速35000r／min，进给速度35mm／s。同时推荐了可用的参数范围：主轴转速33000—36500r

2、／min，工作台进给速度20—40mm／s。在生产现场，采用推荐的最佳主轴转速和进给速度，进行了磨深O．21mm的验证实验，对加工出的窄深槽在50倍的投影仪上进行了检测，缝宽O．095mm，没有可以观察到的崩口，达到了技术要求。关键词高速磨削；窄深槽；陶瓷中图分类号TG58文献标识码AResearchonhighspeedgrindingtechnologyofnarrow——deepslotonceramicbasepanelWangAizhenWangzhan(ZhengzhouResearchInstituteforAbrasivesa

3、ndGrinding，Zhengzhou450013，China)AbstractDuringthemanufactureofceramicpanels，width0．100-ool，0．2～0．4mmdeepslotsareneededtobemachinedinthedesignedzone．Theslotsshouldhavenoorminimunchipbreaking．Inthispaper，grindingtechnologyofsuchnarrow-deepslotsisstudied．Optimizedtechnicalpar

4、ameterswereobtainedwhicharespindlespeed35000r／min，feedspeed35mm／s．Anadaptablerangeoftechnicalparameterswererecommendedwhicharespindlespeed33000～36500r／min，worktablefeedspeed20～40mm／s．Withtheoptimalspindlespeedandfeedspeedrecommendedabove，averificationtestof0．21mmdeepslotgri

5、ndingwasconductedinafactory．Themachinednarrow—deepslot，observedunder50Xprojector，wasof0．095mmwidth，andnovisiblebreakup．Thathassatisfiedtheexpectedtechnologyrequirement．Keywordshighspeedgrinding；nfllTOW·deepslot；ceramicsO引言陶瓷材料是电子封装中常用的一种基板材料，生产过程中，需要在基板上加工出宽0．100。．。。mm、深0．2

6、—0．4mm的槽，要求崩口小。由于陶瓷属于硬脆材料，在工件切削过程中，极易发生崩豁现象，加工十分困难。同时，槽的深、宽比为2～4，属于窄深槽加工，更是机械加工的难题。以前，在普通材料的零件上加工宽度2mm以上的窄深槽，通常是采用切口铣刀预先铣槽，经热处理后再用厚度较薄的树脂或陶瓷结合剂砂轮磨削加工【1]。但对于宽度0．1mm的窄深槽，没有合适的铣刀进行铣削加工，磨削加工也难以达到要求。本文采用自制的电镀金刚石超薄砂轮，对用户提供的0．5mm厚度的陶瓷基板，进行了宽0．1mm、深0．24mm窄深槽磨削加工工艺的研究。第3期王爱珍等：高速磨削陶瓷

7、窄深槽加T工艺的研究791实验在陶瓷磨削加工过程中，材料去除主要有脆性去除方式、粉末化去除和塑性去除方式。史兴宽等呤1人在“硬脆材料光滑表面形成过程的研究”中，用微铣法模拟单颗粒的磨削过程，从砂轮与工件之间的纯几何关系出发，得出最大切削厚度将对加工表面产生直接影响的结论。在磨削参数相同的条件下，磨粒直径越小，最大切削厚度越小，选择细粒度或超细粒度砂轮可使磨粒进行超薄切削并形成光滑的加工表面。砂轮参数确定之后，可通过改变磨削参数，如增大砂轮线速度、减小磨削深度及工作台速度来减小最大切削厚度，达到磨粒超薄切削的目的。依据陶瓷材料的去除机理，参考学

8、者前期的研究结果，制定了本文的试验方案。以主轴高速旋转做主运动，工作台承载着工件做纵向进给运动，以高速深切的方式一次性完成深度0．24mm窄深槽的磨削加工。通过研究