镀膜机操作指引

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1、文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperationProcedure工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数1/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业说明/镀膜机整体图示蒸发器温控（保护）冷阱温控（保（电脑）处理程序真空泵护）紧急开关镀膜机操作面板夹具启动按钮主真空阀/各按钮说明主电源按钮警报器复原按钮散热风扇真空排气开关主屏幕显示面板将输入电压设定为380V，输出1设定电压值电压设定为208V；设定值需符合要求2打开总电源打开总电源开关：OFF→ON文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperationProcedur

2、e工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数2/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业说明紧急停机打开紧急停机开打开（往上拨）此紧急停机开3关关打开主电源(Mian打开主电源(MainPower)及真Power)及真空泵4空泵(VacuumPump)电源开关：位置：控制箱内(VacuumPump)电OFF→ON源主电源真空泵5.a按下主电源按钮，指示灯亮位置：操作面板上主电源按钮警报器复原按钮打开主电源按钮蒸发器温控（保护）冷阱温控（保护）说明："T.O.P"显示预主电源按钮打开后，此区域有定设置数字；5.b数值显示"CHILLER"显示冷却温度，见步骤7图片温度指

3、示灯亮将“HEAT”按钮往上拔，打开6打开温度温度，同时温度指示灯亮文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperationProcedure工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数3/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业说明冷阱温度打开冷阱温度，此温度值范围7打开冷阱温度为：-85℃~-60℃（电脑）处理程序注意：主电源（操作面按下（电脑）处理程序按钮，8.a板上）打开后，等待约指示灯亮15s方可进行此步操作打开（电脑）处理程序8.b主屏幕显示此画面在显示屏上操作，用手点>>进8.c入下一界面进入下一界面8.d进入此界面文件编号SOP-镀膜标

4、准作业指导书版本AStandardOperationProcedure工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数4/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业说明散热风扇9打开散热风扇打开散热风扇按钮首先将Chamber里面清理干净，清理Chamber及打且Chamber内表面需打蜡（均Chamber内表面打蜡需10蜡匀），进料口和出料口需涂抹均匀，且不可漏打黄油高温黃油；11.a玻璃片一面需贴透明胶纸封好玻璃片贴胶纸11.b贴好胶纸的玻璃片将密封圈套于连接器上；头部12.a套密封圈套一个，尾部套两个文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperati

5、onProcedure工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数5/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业说明12.b套密封圈尾部套两个密封圈13.a分别将保护盖装于头尾连接器装保护盖上13.b14.a注意：1.胶布不可沾到电线；用掩膜胶布将保护盖与连接器2.胶布需很好地沾住贴胶布之间的缝隙密封起来保护盖与电线金属件之间的缝隙，若保护不当，膜会渗到连接器的端子上。14.b文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperationProcedure工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数6/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业

6、说明14.c用胶布将保护盖与连接器之间注意：胶布不可沾到电贴胶布的缝隙密封起来线14.d将电线用超声波清洗机清理干净，且镀膜之前需用酒精再次电线需清洗干净，保持12清洗电线清洗（保持电线的绝对清洁）,绝对清洁电线头尾部需要隐膜将电线与玻璃片放入钢网上，13.a线与线之间不能重叠交错放电线及玻璃片13.b玻璃片贴胶纸面需朝下放置文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperationProcedure工序编号001客户名称/工站名称镀膜机操作指引/客户型号/页数7/10/作业步骤工序号工序名称备注图片作业说明将钢网放入Chamber里面，且钢14.a网需卡入夹具驱动轴的定

7、位槽中将钢网放入14.bChamber中，并启动按钮放好钢网后，盖好盖子，并打开夹具启动按钮，让钢网在钢网需放到位，且不可Chamber内转动，且钢网固定轴与Chamber密封盖相摩不能与Chamber密封盖相摩擦.擦；夹具启动按14.c钮真空泵15.a抽前级真空按下真空泵按钮，抽前级真空此数据仅供参考，根据15.b前级真空值此数值显示需<13.5泵的实际情况而定文件编号SOP-镀膜标准作业指导书版本AStandardOperati