明暗场正置金相显微镜照明系统设计

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1、万方数据第32卷第1期2010年2月光学仪器0PrICALINS汀RUMENTSV01．32。No．1February，2010文章编号：1005—5630(2010)01—0039—05吵暗场正置金相显微镜照明系统设计李弥高，古成昌，罗小英(广州粤显光学仪器有限责任公司，广东广州510095)*摘要：明／暗场正置金相显微镜是一种多用途的工业检测仪器，近年来应用领域越来越广泛。现从暗场显微镜的光学原理入手，分析明／暗场正置金相显微镜照明系统的结构特点，提出照明系统的结构方案，着重介绍落射式暗场聚光镜的设计方法，以实例的

2、形式得到相应暗场聚光镜反射面的主截面双曲线方程，并运用PRO／ENGINEER的基准曲线创建功能，提出一种有效的曲线创建与曲面加工方法。结果证明采用双曲面作为落射式暗场聚光镜的反射面能有效提高轴外照明光束的利用率，设计与加工方法是可行的。关键词：暗场显微镜；照明系统；暗场聚光镜；双曲线方程；Pro／ENGINEER中图分类号：TH742．4文献标识码：Adoi：10．3969／j．issn．1005—5630．2010．01．009Designofilluminatingsysteminbrightordarkfiel

3、duprightmetallurgicalmicroscopeLIMigao，GUChengchang，LUOXiaoying(GuangzhouLissOpticalInstrumentsCo．，Lt也，Guangzhou510095．China)Abstract：Thebrightordarkfielduprightmetallurgicalmicroscopeisakindofmultipurposeindustrycheckandmeasureinstrument，thiskindofmicroscopeapp

4、licationfieldismorewiderinrecentyears．Beginnedwiththeopticalprincipleofdarkfieldmicroscope，thestructurecharacteristicsofilluminatingsysteminbrightordarkfieldmicroscopeareanalyzed．Thestructureschemeofilluminatingsystemisbringedforward．Emphaticallyintroducethedesi

5、gnmethodofreflecteddarkfieldcondenserandobtainthehyperbolicequationofmainsectionofthereflectedsurfaceofdarkfieldcondenserinthedesignexample，andbringforwardthemethodthatcreatdatumcurveandmachiningcurvedsurfacetakingadvantageofthefunctionofcreatingcurveinPro／ENGIN

6、EER．Resultsshowthattheoff-axisilluminatingbeamutilizationfactorisincreasedeffectivelywhenadoptthehyperboloidasthereflectedsurfaceofreflecteddarkfieldcondenser，themethodofdesignandmachiningispractical．Keywords：darkfieldmicroscope；illuminatingsystem；darkfieldconde

7、nser；hyperboloidequation；Pro／ENGINEER引言已有一百多年历史的光学金相显微镜，由于它具有观察范围大、使用方便、设备成本低等优点，目前仍然是生产和科学研究中最常用的一种工具。随着电子信息产业的快速发展，集成电路的集成度不断提高，在线检测或非接触无电检测已成为产品制造过程中必不可少的工序，明／暗场正置金相显微镜特别适’收稿日期：2009-07—29作者简介：李弥高(1975一)，男，湖南邵东人，工程师，学士，主要从事光学显微镜设计方面的研究。万方数据·40·光学仪器第32卷用于非均质材料表

8、面组织与形态的检测与分析，是材料科学与电子信息产业的理想装备。1落射式明／暗场正置显微镜原理落射式暗场显微镜(Thereflectedlightdarkfieldmicroscope)是利用光学上的丁达尔效应，使通过聚光系统的光源中央光束被环形遮光板阻挡，不能由上而下地通过物镜照射在标本上，而是使照明光线改变路径后倾斜地照射在观察