微细加工与MEMS技术光学光刻

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1、第7章光学光刻光刻曝光刻蚀光源曝光方式7.1光刻概述评价光刻工艺可用三项主要的标准：分辨率、对准精度和生产效率。涂光刻胶（正）选择曝光光刻工艺流程显影（第1次图形转移）刻蚀（第2次图形转移）38)显影后检查5)曝光后烘焙6)显影7)坚膜UVLightMask4)对准和曝光Resist2)涂胶3)前烘1)气相成底膜HMDS光刻工艺的８个步骤光源紫外光（UV）深紫外光（DUV）g线：436nmi线：365nmKrF准分子激光：248nmArF准分子激光：193nm极紫外光（EUV），10~15nmX射线，0.2~4nm电子束离子束5Visi

2、bleRadiowavesMicro-wavesInfraredGammaraysUVX-raysf(Hz)1010101010101010101046810121416221820(m)420-2-4-6-8-14-10-1210101010101010101010365436405248193157ghiDUVDUVVUVl(nm)CommonUVwavelengthsusedinopticallithography.电磁光谱6l(nm)700455060065050045040035030025020015010050紫外光谱可见光

3、汞灯准分子激光Photolithographylightsourcesghi36540524819313436157126VioletRedBlueGreenYellowOrangeMid-UVEUVDUVVUV紫外光谱可见光谱：波长在390nm到780nm之间；紫外光谱：波长在4nm到450nm之间。有掩模方式无掩模方式（聚焦扫描方式）接触式非接触式接近式投影式反射折射全场投影步进投影扫描步进投影矢量扫描光栅扫描混合扫描曝光方式7.2衍射当一个光学系统中的所有尺寸，如光源、反射器、透镜、掩模版上的特征尺寸等，都远大于光源波长时，可以将光作

4、为在光学元件间直线运动的粒子来处理。但是当掩模版上的特征尺寸接近光源的波长时，就应该把光的传输作为电磁波来处理，必须考虑衍射和干涉。由于衍射的作用，掩模版透光区下方的光强减弱，非透光区下方的光强增加，从而影响光刻的分辩率。7.3调制传输函数和光学曝光无衍射效应有衍射效应光强定义图形的调制传输函数MTF为无衍射效应时，MTF=1；有衍射效应时，MTF<1。光栅的周期（或图形的尺寸）越小，则MTF越小；光的波长越短，则MTF越大。图形的分辩率还要受光刻胶对光强的响应特性的影响。理想光刻胶：光强不到临界光强Dcr时不发生反应，光强超过Dcr时完全

5、反应，衍射只造成线宽和间距的少量变化。DcrD100D0实际光刻胶：光强不到D0时不发生反应，光强介于D0和D100之间时发生部分反应，光强超过D100时完全反应，使线条边缘出现模糊区。在一般的光刻胶中，当MTF<0.4时，图形不再能被复制。7.4光源系统对光源系统的要求1、有适当的波长。波长越短，曝光的特征尺寸就越小；2、有足够的能量。能量越大，曝光时间就越短；3、曝光能量必须均匀地分布在曝光区。常用的紫外光光源是高压弧光灯（高压汞灯）。高压汞灯有许多尖锐的光谱线，经过滤光后使用其中的g线（436nm）或i线（365nm）。高压汞灯的光谱

6、线120100806040200200300400500600RelativeIntensity(%)h-line405nmg-line436nmi-line365nmDUV248nmEmissionspectrumofhigh-intensitymercurylamp由于衍射效应是光学曝光技术中限制分辨率的主要因素，所以要提高分辨率就应使用波长更短的光源如深紫外光。实际使用的深紫外光源有KrF准分子激光（248nm）、ArF准分子激光（193nm）和F2准分子激光（157nm）等。深紫外光的曝光方式与紫外光基本相同，但需注意两点，1、光刻

7、胶2、掩模与透镜材料248nm波长的光子能量为4.9eV，193nm波长的光子能量为6.3eV，而纯净石英的禁带宽度约为8eV。波长越短，掩模与透镜材料对光能的吸收就严重，造成曝光效率降低和掩模与透镜发热。各种光学曝光光源的使用情况1985年以前，几乎所有光刻机都采用g线(436nm)光源，当时的最小线宽为1m以上。1985年以后开始出现少量i线(365nm)光刻机，相应的最小线宽为0.5m左右。从1990年开始出现DVU光刻机，相应的最小线宽为0.25m左右。从1992年起i线光刻机的数量开始超过g线光刻机。截止到1998年，g线、

8、i线和DVU光刻机的销售台数比例约为1:4:2。而目前DVU光刻机的销售台数已经超过i线光刻机。7.5接触式与接近式光刻机一、接触式光刻机SiU.V.MaskP.R.SiO2优点