欢迎来到天天文库
浏览记录
ID：41384635
大小：108.41 KB
页数：3页
时间：2019-08-23
《DLC镀膜均匀性介绍》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、DLC镀膜均匀性介绍红框部分为镀膜机腔体，为实际使用工作台。产品在腔体内完成镀膜。镀膜机腔体侧面结构图如下；其中红框部分为基片架，也称工作盘，为口径500mm平面放置平台，围绕圆心旋转。产品就是放置在这个平台上。膜层的沉积过程由上至下，覆盖整个工作盘表面。500mm口径工作盘平面示意图如下；123以52mm产品为例，图纸大致显示了52mm口径窗口片摆放情况。产品均匀分布在500mm口径工作盘上，工作盘工作盘围绕原心匀速旋转，膜层在工作平台上沉积，图中颜色相同部分所镀的膜层可以认为是完全相同的。所以膜层的不均匀主要是
2、中间和边缘处的差别（不均匀性小于2%），3片测试片摆放位置将会选取图中红色字体位置。
此文档下载收益归作者所有
