VAS作业指导书

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1、文件编号:版号:1.0第9页共9页VAS作业指导书NO版次修订内容生效日期修订人11.0首次发行。2014-11-王晓玲拟制/面板厂王晓玲审核批准会签文件编号:版号:1.0第9页共9页1目的指导和规范真空贴合机台生产作业，以保证生产的顺利进行。2适用范围适用于上海天马制造中心面板厂ODFVAS岗位员工3定义（1）VAS；真空贴合系统VacuumAssemblySystem的简写（2）EMO：紧急停止.（3）RUN：启动键.（4）Alarm：警报.（5）System：系统.（6）T/P：TouchPane

2、l，触摸式操作屏.（7）Recipe：程序。4、操作步骤：操作步骤具体说明注意事项1操作前准备1.1Recipe选择1.1.1点击PC软件画面右上角的“ShowMenu”如图1-1红框所示。图1-11.1.2选择RecipeSetting，如图1-2红圈所示。图1-21.1.3在弹出对话框中输入密码，根据工艺卡选择对应得Recipe，如图1-3所示。文件编号:版号:1.0第9页共9页2操作步骤图1-31.1.4点击ChangeRecipe，在界面右上角中确认当前Recipe是否已更改正确，确认无误后点击

3、EXIT退出。图1-41.1.6设备日常点检对设备各参数进行点检，点检记录填写到《设备维护保养记录表（日）》，若数值不在点检范围内，通知工程师处理。2.1原点复归2.1.1在TouchPanel根目录中点击“Run”。如图2-1红圈所示：图2-1文件编号:版号:1.0第9页共9页3操作完成后2.1.2选择“Init”选项。进入如下2-2界面。图2-22.1.3点击“Mode”按钮，选择Auto模式，按“Origin”，使机台完成原点复归。2..2机台自动运转2.2.1如图2-3所示选择“AutoMoni

4、tor”选项。图2-32.2.2点击TouchPanel下方的START按钮，机台左上角显示为“RunProcess”。3.1设备停止3.1.1设备中有基板时，按下TouchPanel下方的stop，设备做完当前动作后停止。3.1.2设备中有基板时，按下TouchPanel上的Cyclestop，设备做完当片基板制程并排出后即停止，不再接收新的基板。3.1.2设备中无基板时，按下TouchPanel下方的stop或TouchPanel上的Cyclestop设备均会停止自动运行。Origin闪烁说明在动作

5、中，稳定在黄色后说明动作已完成只有在AutoMonitor界面下设备才能进入自动运行状态。只有在Press前Cyclestop才有效设备内不能有安全支柱，Cleaning棒等物品5异常处理：5.1报警常规处理流程：5.1.1报警处理流程图文件编号:版号:1.0第9页共9页参考1.2参考1.3图5-15.1.2查看报警内容5.1.2.1VAS自动运转步骤如下图，当某一步骤条件不满足时，Alarm发生图5-25.1.2.2Alarm发生后设备会发出报警音乐提醒操作者注意，同时设备状态指示灯变成红色，Touc

6、hPanel画面会弹出对话框，显示报警内容。图5-35.1.2.3也可以在根目录下点击Error查看报警记录，操作人员发现报警以后，要仔细阅读报警内容，以明确报警原因。文件编号:版号:1.0第9页共9页图5-45.1.3观察设备状态5.1.3.1确认机台内基板的状态。5.1.3.2Robot手臂的位置，设备之间通信状况等。5.1.3.3确认此时操作是否安全。5.1.4解除Alarm5.1.4.1根据具体的原因采取对应的操作，使不满足的条件得到满足，让机台正常完成动作。注意：对不知如何处理以及操作后不知会

7、有何种后果的情况，一律不许操作，需立即与当班工程师联络询问处理方法。5.2对位异常处理流程5.2.1“粗Mark检出ERR”、“微Mark检出ERR”、“判定Mark检出ERR”的处置流程图如下:图5-55.2.2对位报警时TouchPanel会弹出如下对话框文件编号:版号:1.0第9页共9页图5-6按下此键后，不论实际手动对位的结果如何，设备都认为是OK的其中，①ManualAlign:在Inching下对mark的位置进行手动对位。对好后再进行ManualAlignOKRetry操作，如下图。按下此

8、键后，将对位步骤跳过，不做对位直接照射手动调节至Mark清晰显示后按下此键，设备会再做一次自动对位确认图5-7②MarkSave:在PC上对Mark进行登录处理。③Retry:重新再做一次对位动作。④Stop:退出自动运转注意：手动对位禁止触按“AlignInvalid”与“ManualAlignOK”按键，只允许按下“ManualAlignOKRetry”按键5.3Unmatch报警处理流程5.3.1Unmatch报警处理流程图文件编号: