钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究_罗慧

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1、2013年2月贵金属Feb.2013第34卷第1期PreciousMetalsVol.34,No.1钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究*罗慧，李世鸿，刘寄松，金勿毁（昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明650106）摘要：采用高温熔融-水淬法制备玻璃相，固相法制备导电相Bi2Ru2O7、CaRuO3和BaRuO3，水浴溶解法制备有机载体，配制成电阻浆料后印制成电阻，经烘干、烧结后测算其重烧变化率。研究了玻璃组成中硼硅比例B2O3/SiO2、混合玻璃粉比例以及导电相对重烧变化率的影响。提出了改善电阻重烧变化率的几种办法。制备出的几种电阻浆料

2、重烧变化率较小，可满足使用要求。关键词：复合材料；厚膜电阻；RuO2；CaRuO3；BaRuO3；重烧变化率+中图分类号：TG146.38文献标识码：A文章编号：1004-0676(2013)01-0033-05ResearchontheChangeofResistanceofRefiredRu-basedThick-filmResistors*LUOHui,LIShihong,LIUJisong,JINWuhui(StateKeyLaboratoryofAdvancedTechnologiesforComprehensiveUtilizationofPl

3、atinumMetals,KunmingInstituteofPreciousMetals,Kunming650106,China)Abstract:Sixglasspowderswerepreparedbyconventionalmelting-quenchingmethod.ConductingphasesBi2Ru2O7,CaRuO3andBaRuO3werepreparedthroughsolid-phasereaction.Theorganicmatterwasalsopreparedbydissolution.Thus,aseriesofthi

4、ck-filmpasteswereformedbymixtureofconductingphases,glasspowderandorganicmatter.Thepasteswereprintedon96%Al2O3substratestoformresistorsandthendriedandfired.Thechangeofresistancevaluesofeachresistorafterrefiringweremeasuredandcalculated.TheinfluencesofB2O3/SiO2,theratiooftwoglasspow

5、dersandtheratiooftwoconductivephasesonthechangeofresistancevaluewerestudied.Severalwaystobringdownthechangeofresistancevaluewereproposed.Keywords:composite;thick-filmresistor;RuO2;CaRuO3;BaRuO3;changeofresistancevalueafterrefiring厚膜电阻浆料是由导电相、玻璃相、有机载体定性好、阻值范围宽和可在大气中烧成等一系列优[1,5-6]和其

6、它氧化物组成的复合材料体系，广泛用于集成点，成为应用最广泛的厚膜电阻浆料。[1]电路中。厚膜电阻的导电机制与其导电相的体积钌系厚膜电阻浆料采用的导电相通常是超细的[7-8]分数有关，当导电相粒子的体积分数较高时，导电脱水氧化钌、钌酸盐及其衍生物等，对导电相的相粒子可相互接触，形成连续的导电通路，导电机基本要求是要有适当的电阻率和高度的稳定性，在[9-11]制为金属链导电；当导电相粒子的体积分数较低时，高温烧结时不发生分解，也不与玻璃相反应。导电相粒子之间并不是直接互相接触，而是由一层玻璃相可采用硼硅铅玻璃、硼硅铅铝玻璃等，为调极薄的玻璃层隔开，此时的导电机

7、制为隧道效应导节玻璃的粘度和稳定性常加入少量的ZnO、Al2O3、[2-4][3,6,12]电。导电相材料为二氧化钌或钌酸盐的钌系厚膜CaO等氧化物。适用于电阻浆料的无铅玻璃电阻浆料以其优良的电气性能、工艺重复性以及稳也在研究当中，主要成分为：SiO2、B2O3、CaO、收稿日期：2012-01-13基金项目：国家科技支撑项目(2012BAE06B00)资助。第一作者：罗慧，女，硕士研究生，研究方向：无铅厚膜电阻浆料。E-mail：Estron@126.com*通讯作者：李世鸿，男，高级工程师，研究方向：贵金属电子浆料研发。E-mail：lsh@ipm.c

8、om.cn34贵金属第34卷[13]Al2O3、ZnO、BaO等。