浅谈特种加工与超精密加工

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1、目录摘要3nu§41特种加工及其新技术51.1特种加工概述51.2特种加工独到之处51.3特种加工发展61.4特种加工的应用61.5特种加工特点71.6特种加工加工工艺71.7特种加工新方法及其特点81.7.1电火花加工技术81.7.2激光加工技术121.7.3电子束加工技术131.7.4离了束及等离了体加工技术141.7.5电加工技术151.7.6超声波加工技术161.8特种加工发展方向及研究171.8.1激光加工技术171.8.2电了束加工技术171.8.3离子束和等离子体加工技术171.8.4电加工技术182超精密加工及其新技术191.1超精密加工概述191.

2、2超精密加工精度标准及档次191.3超精密加工应用201.4超精密加工主要研究内容201.5超精密加工条件21231.6超精密加工新方法及其特点1.6.1砂带磨削231.6.2超精密切削231.6.3超精密磨削242・6.4T行磨251.6.5超精密研磨251.6.6抛光261.6.7超声波抛光271.6.8化学抛光271.6.9电化学抛光271.7超精密加工发展趋势281结论30致谢32参考文献31摘要特种加工亦称“非传统加工”或“现代加工方法”，泛指用电能、热能、光能、电化学能、化学能、声能及特殊机械能等能量达到去除或增加材料的加工方法，从而实现材料被去除、变形

3、、改变性能或被镀覆等超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代,加工尺寸精度可达10纳米(1X10-8米)，Wil粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工貝、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术关键词特种加工超精密加工应用发展Ws制造业是将制造资源（物料，能源，设备，工具，资金，技术，信息和人力等）通过制造过程转化为可供人们使用与利用的工业品和生活消费品的行业，是国民经济的基础，因此，从某种意义上说，制造技术水平的高低是衡量一个国家国民经济和综合国力的重要标

4、志之一。制造技术的发展已有几千年的历史，从石器吋代，青铜器吋代，铁器时代到现代的高分子塑料时代；从手工制造，机器制造到现代的智能控制自动化制造；从一般精度加工，精密加工到现代的超精密加工机纳米加工。精密加工和特种加工是新世纪知识经济时代先进制造工艺技术的重耍组成部分，代表了当両先进制造技术发展的重要方向，在制造业乃至社会发展进程中起着非常重要的作用。由于现代科学技术的迅猛发展，机械、电子、航空和国防工业等各领域，要求尖端科学技术产品向高精度、高速度、大功率、小型化方向发展，以及要求在高温、高压、重负荷等极端条件下长期可靠的工作。为了适应这些耍求，各种新结构，新材料和

5、复杂形状的精密零件大量出现，其形状越來越复杂，材料的强韧性越来越高，零件表面精度,粗糙度和某些特姝要求也越來越高，因此对机械制造技术提岀了下列新的课题。（1）解决各种难加工材料的加工问题。如硬质合金，钛合金，耐热钢，不锈钢淬火钢，金刚石等各种高硕度，高强度，高韧性，高脆性的金属和非金属材料。（2）解决各种特殊复杂型而的加工问题。如各种热锻模，冲裁模，冷拔模和注射模的模腔和型孔，整体涡轮，炮管内膛线等。（3）解决各种超精密，光整或需要特殊要求零件的加工问题，如精密光学透镜，航空航天陀螺仪，伺服阀，高灵敏的红外传感器部件，大规模集成电路，微型机械和机器人零件等对表面精度

6、和质量要求比较高的零件的加工。要解决上述一系列问题，仅依靠传统的机械切削加工（包括磨削加工）方法是难以实现的，人们相继研发和开发齐种新的加工方法，因此，超精密和特种加工技术就是在这种那个前提条件下产生和发展起來的。目前超精密和特种加工技术已成为零件制造的重要工艺技术手段，成为世界制造技术领域的制高点，是现代制造技术的前沿。1特种加工及其新技术1特种加工概述特种加工亦称“非传统加工”或“现代加工方法”，泛指用电能、热能、光能、电化学能、化学能、声能及特殊机械能等能量达到去除或增加材料的加工方法，从而实现材料被去除、变形、改变性能或被镀覆等。特种加工是指那些不属于传统加

7、工工艺范畴的加工方法，它不同于使用刀具、磨具等直接利用机械能切除多余材料的传统加工方法。特种加工是近几十年发展起来的新工艺,是对传统加工工艺方法的重要补充与发展，目前仍在继续研究开发和改进。直接利用电能、热能、声能、光能、化学能和电化学能，冇时也结合机械能对工件进行的加工。特种加工中以采用电能为主的电火花加工和电解加工应用较广，泛称电加工。特种加工亦称“非传统加工”或“现代加工方法”，泛指用电能、热能、光能、电化学能、化学能、声能及特殊机械能等能量达到去除或增加材料的加工方法，从而实现材料被去除、变形、改变性能或被镀覆等。20世纪40年代发明的电火花加工开创了用