2838真空镀膜机作业指导书

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1、盼璇瑰塑胶工业（深圳）有限公司拟制/日期真空镀膜机作业指导书文件编号GEMS(SZ)-W-2838审核/日期版次A/0页码lof2批准阳期标准化/H期1・目的为规范操作真空镀膜，提高作业效率和质量，确保真空镀膜机的正常运转。2•适用范围适用于真空镀车间真空镀膜时的指导。3・职责3.1PIE科负责新机器和设备的导入和给生产部相关人员的培训。3.2工业工程负责机器设备的验收，出现异常联络相关人员或供应商进行维修。3.3生产部对机器和设备的日常维护保养及使用。4.操作步骤4・1•生产前注备：4.1.1按照＜＜镀膜设备口常巡检表＞＞检查设备是否正常.确保水电气接通4

2、.1.2打开总电源开关，将触摸屏界面切换到运行界面.4丄3打开真空计和流量控制仪开关（也可曲PLC完成）.4・1・4•在运行界面中点击维持泵。20秒后再点击扩散泵加加热（温度设定在70±5°C）预加热54分钟后，系统自动完成扩散泵再生，”工作”指示灯亮4.1.5点击放气阀1次打开放气阀，充气开门，门开后（放气阀自动关闭），清理炉内卫生.4丄6清理一卫生后，手动转动转架，检查转动系统转动是否平稳顺畅4.2工件进炉4.2.1装上工件挂具后，手动转动转架，检查工件转架是否平稳顺畅和注塑件是否装牢到位。4.3抽真空/离子轰击4・3・1装好工件后，便口J将大门关上.门

3、关上后，依次打开粗抽泵、粗抽阀。4.3.2当真空度抽至或高于真空计电阻规”设定l"（1000Pa）的压力时，开启罗茨泵，同时开低温泵。4.3.3当真空度抽至IPa的压力时，关罗茨泵，同时开离子轰击2分钟.4.3.4离子轰击结束后，开启罗茨泵，当真空度达到3Pa时，开前置阀，接着开精抽阀.4.4真空镀膜A:手动方式：4.4.1待真空度抽至或高于真空计电离规“设定4”（2X10-2Pa）的压力后，可镀报警灯开始闪烁，此时可进行蒸发镀膜,开蒸发，开对应大门的旋转按钮.盼璇瑰塑胶工业（深圳）有限公司拟制/日期真空镀膜机作业指导书文件编号GEMS(SZ)-W-2838

4、审核/口期版次A/0页码2of2批准阳期标准化/H期4・・4・2开蒸发，开对应大门的工件件旋转按钮，顺时针调节蒸发电位器，电压控制在1.82.2V吋间控制在15—20秒。4.4.3蒸发第二段:调整电压至2.8-3.0V,时间控制在8■…10秒•并维持10秒左右4.4.4蒸发第三段:调整电压至4--5V,时间控制在6--8秒•并维持在5秒左右.4.4.5蒸发结束后,关蒸发，同时按低温泵的回温按钮，调节蒸发电位器回零，并延时25-50秒后关工件转架。4.4.6关精抽阀，等精抽阀完全关闭10秒后关前置阀，关罗茨泵，开放气阀.B:自动方式：4.4.7按下触摸屏上的菜

5、单按钮,输入密码后则出现蒸发设定界面.4.4.8设定好各项参数.（所有的设定范围同手动）4.4.9装好镀料，把待镀工件装上工件架，关好大门，扣紧门锁，开粗抽泵.4.4.10把半自动一全自动选择开关打至全自动位置•并按下有制冷开关.4.4.11按自动按钮，粗抽泵自动打开,设备进入全自动运行周期.4.4.12镀膜完成后，关另一个门并重复4.4.7…4411・4.5停机冷却4.5.1把镀件取出，关上其中的一边大门；4.5.2关扩散泵，保持前置泵继续工作；4.5.3开粗抽泵;开粗抽阀进行抽气；4.5.4待真空室内的大气基本排除后（约5分钟），关粗抽阀;关粗抽泵.4.

6、5.5100分钟后，当扩散泵外壳下端冷却到70°C左右，关前置泵.4・5・6停止供冷却水、压缩空气；打下总电源开关，设备停止工作。5•相关记录5.1《镀膜设备点检表》表格编号：GEMS（SZ）-Q/E-03855.2《镀膜工艺参数表》表格编号：GEMS（SZ）-Q-0365版次修订内容制定日期制定者A/0首版制定09-6-24