单靶调试总结

《单靶调试总结》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、单靶调试总结报告一、设备靶电压过高，电流加不上例］:3月24040#镀膜机调试情况，工艺如下:层时间氮氮电压电流压强5420650477294.5'142103813465294.5'132703819439294.5」25703834.5355294.5'11603856270294.5“4月4日经过改造靶芯，更换磁铁后，（尺寸：11X12X25、磁场：4100〜4300高斯）。电流能加上去。工艺如下：层时间氮电压电流压强530056043940.23.5-14180381344440.22.5」3240382043040.22.5」2510383537240.22.5“160385330

2、040.22.71例2：3月17日42#镀膜机调试情况层时间氮氮电压电流压强5300650465307.3'141803813477305.6_,32403819484305.5-125103835349304.5"1603856257305.914月3日经过改造靶芯，更换磁铁后，（尺寸：11X12X50、磁场:4000-4200高斯），电流也能加上去。工艺如下：丿,时间氮氮电压电流压强530056042035.56.4」4180381342835.54.4-13240381941035.54.4-12510383533035.54.4-1160385628035.54.6」二、由于电压高，

3、靶底座打火严重，使用过程击穿3台镀膜机阳极冒。例1：34#镀膜机（3.18〜3.28）当时工艺如下:层时间氮氮电压电流压强542065046630.26.3d4180381048930.23.8-13240381845230.23.8-125403835.535530.23.8-1160385626530.24.5-1此镀膜机在使用过程中，多次打火，清理靶底座无效。最终被击穿。例厶41#镀膜机也如此。当时工艺如下:层时间氮氮电压电流压强4420380482303.5-131803813479303・5「i22403827400303.611840383&5320303.71三、考虑到可能操作

4、系统问题（北京的电控柜），为此，我们又做了一次对比实验，将衡阳的三靶镀膜机改用作单靶，将38#镀膜机的靶挪用到25#三靶镀膜机进行了工艺调试对比实验（衡阳的电控柜），数据如下：1.38#调试时工艺（调试时间2003.3.18）将靶换到25#三靶镀膜机又进行工艺对比（时间为2003.4.4）同一参数电压降低30〜70V左右：层时间氮气氮气35#镀膜机电压更换后25#镀膜机电压电流1420650455380302180391347040130324039184493953045103936342310305603956260290302.考虑可能还有其它原因，为此我们又与潍坊用衡阳的同种设备厂家

5、的工艺进行对比，电压仍然高20〜30V左右。工艺如下：层歳气氮气时间电流压强（潍坊）电压（潍坊）压强(25#)电压(25#)1500300504.5"4404.2-14702414160433.8-13403.613373414580433.8-13303.5」3354434990414.0-12903.8-131553952100383.712603.5-1297〜28463456130363.2-12603.1"272〜25872958120402.T12602.712858246160352.4-12002.3」231四、工艺和设备方面1.当时，曾用低电流做工艺，但口红，且膜层不耐高温

6、，退火后变色，镀膜时间太长，溅射速率慢。2.单靶设备操作系统方面：1）优点，电流电压稳定性能好。2）缺点，①不能实现全部自动化，②设备保护措施少，报警装置无声音。③靶缺水，断水不能报警。三、建议：1.衡阳更换靶芯磁条。（尺寸：11X12X25、磁场：4500-4800高斯）。2•北京重新更改程序，加入声音报警；缺水断电报警，靶缺水报警；机械泵/维持泵热过载报警；3•建议衡阳三靶设备再加两路靶水温报警装置；工艺气体设定可0.1个气的加或输入设定；重新改造阳极帽，取消阳极帽上加垫片；另外给六套三靶可改为单靶的部件。