真空检漏vacuumleak

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1、第五章真空检漏LeakDetection主要内容5.1概述一.真空检漏的意义二.真空系统漏气的判断三.漏孔大小的表示四．容许漏率5.2检漏的基本原理一.压强差的作用二.示漏气体与探测器三、检漏方法的响应过程四、各种效应的利用五、检漏器的性能指标5.3压力检漏法一.打气检漏法二.卤素检漏法三、氨检漏法5.4真空检漏法一.高频火花检漏法二.真空计检漏法三、质谱仪检漏法1．工作原理2．示漏气体3．检漏方法4．性能指标5.1概述一.真空检漏的意义二.真空系统漏气的判断三.漏孔大小的表示四．容许漏率真空检漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系

2、统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。    漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。最大容许漏率：于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真

3、空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。5.2检漏的基本原理检漏目的：一.压强差的作用P1>P2；P1

4、分类充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法Chapter5LeakDetectionSection1.Generalintroduction1.Theimportanceofleakdetection(a)Anidealvacuumchambershouldmaintainforeverthevacuum(pressure)reachedatthemomentofitsseparationfromthepumps.(b)Anyrealchamberpresentsariseinpressureafterbeingisolatedfromthepumpingsystem.Continua

5、tionofgeneralintroduction(c)Thepressureriseisproducedbythegaswhichpenetratesthroughleak,whichevolvesfromthewalls(outgassingandvapor)andwhichenteresbypermeation(seepage111).P·Se·dt–Q·dt=–V·dPWhereP:Pressure;Se:EffectivepumpingspeedV:Volume;Q:leak,outgassing&permeationContinuationofgeneralintrod

6、uction2.Determinationoftheleak(a)Plottingofpressurevstimecurvewillassistindeterminingthetheactualleak.DeterminationoftherealleaksStraightline1:theriseofpressureisproducedonlybyrealleaks.Curve2:theriseofpressurebyoutgassingCurve3:theriseofpressurebyacombinedeffect(leak,outgassingandpenetration)

7、.Continuationofgeneralintroduction3.Theleakrate(a)Definition:Theleakrateisthequantityofgas(inPVunits)perunittimeintotheflowingvacuumsystematacertainconditions.TableofleakratespecificationsLeakdetectionSection2.Basicprincipleoftheleakdet