晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档概述

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1、晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档(一)概述-2-/3随着社会的发展和人类科技的进步，人工晶体材料在半导体、集成电路、太阳能光伏、LED、航空发动机涡轮叶片制造等领域中得到了广泛的应用。这些社会应用需求驱动了晶体生长科学与技术的迅速发展，人们借助先进的技术手段可制备各种优质的多功能晶体。此外，随着计算机软硬件技术的发展，利用高效的CAE数值模拟技术进行虚拟预测、优化晶体生长工艺，已成为提高产品质量与研发效率、降低研发成本的有效途径。   FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件，由比利时新鲁汶大学教授Dr.FrançoisDupret于20世

2、纪80年代中期领导开发。Dr.FrançoisDupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席，曾担任国际晶体生长（JournalofCrystalGrowth）期刊主编。作为FEMAG公司创始人和首席科学家，Dr.FrançoisDupret主持开发的FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能，可模拟的晶体生长工艺包括提拉法（柴氏法，Cz法）、泡生法（Ky法）、区熔法（FZ法）、坩埚下降法（垂直布里兹曼法，VB法）、物理气相传输法（PVT法）等，

3、广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。   ONSemiconductor（安森美半导体）、美国Kayex、Siltronic（世创电子材料）、AXT（美国晶体技术集团）、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut（挪威北方研究所）、日本SUMCO集团、Gritek（有研新材料）、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构，均是FEMAG软件的用户。    目前，FEMAG软件包括以下六款产品：➢FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件➢FEMAGCZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶体生长

4、模拟软件➢FEMAG/FZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件➢FEMAG/DS——FEMAG三维定向凝固模拟软件-2-/3➢FEMAG/VB——FEMAGVB/VGF法晶体生长模拟软件➢FEMAG/PVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件    经过近三十多年的开发与完善，FEMAG软件以其深厚的晶体生长理论基础、高效稳健的数值算法，业已在晶体生长数值计算领域处于国际领先地位。FEMAG软件可以高效地模拟晶体生长工艺过程以及预测晶体生长的质量，有力地促进了晶体生长技术相关的生产与研发工作。    FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用：➢半导

5、体用单晶硅生产与研发➢太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发➢集成电路级单晶硅生产与研发➢航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发➢LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发➢晶体生长熔炉设计与生产-2-/3