真空镀膜设备与技术介绍.ppt

《真空镀膜设备与技术介绍.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、真空镀膜设备介绍北京迪通恒业科技有限公司遵化市富森钛金设备有限公司联合制作简介真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，

2、并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。2真空镀膜设备3适用范围1．建筑五金：卫浴五金（如水龙头）．门锁．门拉手．卫浴、门锁、五金合叶、家具等2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等．4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等5、不锈钢管和板（各种类型表面）6、家具、灯具、宾馆用具7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。4薄膜均匀性概念1.厚度上的均匀性，也可

3、以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2.化学组分上的均匀性：就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也

4、是真空镀膜的技术含量所在。具体因素也在下面给出。3.晶格有序度的均匀性：这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，容5单击此处添加标题此处添加内容此处添加内容内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容此处添加内容内容内容内容6单击此处添加标题标题文字内容单击此处添加段落文字内容单击此处添加段落文字内容单击此处添加段落文字内容单击此处添加段落文字内容单击此处添加段落文字内容单击此处添加段落文字内容标题文字标题文字标题文字标题文字标题文字标题文字90%单击此处添加段落文字内容单击此处

5、添加段落文字内容单击此处添加段落文字内容70%50%55%30%35%7谢谢观赏谢谢观赏8