国家纳米科学中心纳米加工技术实验室收费标准与收费办法

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1、国家纳米科学中心纳米加工技术纳米加工技术实验室收费标准与收费办法纳米加工技术实验室收费标准与收费办法实验室收费标准与收费办法（暂行）实验室收费标准与收费办法（暂行）1．重点合作用户(长期在纳米加工技术实验室加工样品、合作研究，且知识产权共享)，加工费用享有特别折扣；2．预付加工费用且在研究成果中致谢国家纳米科学中心纳米加工技术实验室，给予优惠:一次预付10万以上9折，20万以上8折，30万以上7折；3．普通用户，按收费标准收费；4．付费方式：提供有效帐号，每季度按实际机时收取费用。国家纳米科学中心纳米加工技术国家纳米科学中心纳米加工技术实验室国家纳米科学中

2、心纳米加工技术实验室设备设备收费标准设备收费标准(暂行)仪器收费标准说明CEE匀胶机200元/片（6吋）此收费标准只针对单独涂胶工艺；100元/片（4吋）特殊光刻胶收费另议。60元/片（其他）VistecEBPG5000+电子束曝光1300元/小时包括涂胶、热板、显影台、显微镜；系统30分钟为基本时间单位。MA6亚微米紫外对准系统800元/小时自备光刻版；包括涂胶,热板,显影台,显微镜；30分钟为基本时间单位。SentechSI500刻蚀系统800元/小时15分钟为基本时间单位；特殊深度、未知和特殊工艺价格另议。Plasmalab100ICP180刻蚀系8

3、00元/小时15分钟为基本时间单位；统特殊深度、未知和特殊工艺价格另议;低温工艺:开机费200元/次,液氮300元/次。等离子去胶机300元/小时15分钟为基本时间单位。快速合金炉300元/小时30分钟为基本时间单位。扫描电镜500元/小时30分钟为基本时间单位。光谱椭偏仪30元/点建模价格另议。其它测量设备（台阶仪、半导体150元/小时15分钟为基本时间单位；测试仪）特殊条件，价格另议。电子束蒸发800元/小时30分钟为基本单位；材料费：厚度<50nm，超过部分30元/10nm，贵金属价格另议。Lab18磁控溅射设备800元/次普通金属<50nm，超过部

4、分10元/10nm，贵金属另议。30分钟为基本单位；SI500DICP-CVD800元/小时超厚膜根据沉积时间，清洗费200元/次。DISCO划片机500元/小时换刀200元/次；30分钟为基本单位；1小时内客户可以自由选择按刀（10刀起）计费或按时间计费。