声表面波气体传感器的原理及研究进展

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1、http://www.paper.edu.cn1声表面波气体传感器的原理及研究进展薛力芳,刘建国,黄烨,刘爽英,赵启大,刘丽辉,董孝义(南开大学现代光学研究所天津300071)摘要:简要叙述了声表面波(SAW)气体传感器的传感原理和研究进展,详细阐述了声表面波气体传感器阵列的新型结构及其主要功能,为实现集成化,多参量测量和高灵敏度SAW气体传感器的优化结构设计提供了参考依据。关键词:声表面波气体传感器1引言声表面波(SAW)传感器的研究起源于70年代,当时人们在研究SAW电子器件的时候发现表面沉积物、应力、温度、电场、磁场等外界因素均会对器件的特性产生较大的影响,这些影响是电

2、子器件所不希望的,然而却十分适用于传感器的研究。由于这种传感器具有高精度、高灵敏度、高分辨率、抗电磁干扰能力强,不需要模/数转换,敏感器件采用半导体平面工艺制作,易于集成及大规模生产等优点,30多年来,以SAW延迟线或谐振器作为核心[1][2]敏感组件的SAW传感器技术得到了很大发展。到目前为止,人们不但已经研制了温度、[3][4][5][6]压力、质量传感器。特别是在气体传感器方面已经取得了可喜的科研成果。本文概述了近些年SAW气体传感器的研究进展,对一些新型的SAW气体传感器结构设计做了详细的介绍,从而为SAW气体传感器优化设计提供了参考依据。2声表面波气体传感器的原理声

3、表面波(SAW)气体传感器的基本结构如图1所示,在以压电材料为衬底的表面上,一端为输入叉指换能器(IDT1),另一端为输出叉指换能器(IDT2),两者之间的区域淀积了针对特定气体敏感的薄膜。此薄膜与被测气体发生相互作用,导致界面膜的物理性质发生变化,从而改变了SAW的速度或频率,因此通过测量声波的频率偏移或相位延迟可以反演得到气体的种类、浓度等待测量。下面以测量声波的频率偏移为例来说明声表面波气体传感器原[7]理。1资助项目:教育部博士点基金(批准号:20020055036)、国家自然科学基金项目(批准号:69977006)和天津市自然科学基金重点资助项目(批准号:01380

4、0511)-1-http://www.paper.edu.cn图1SAW器件的基本结构SAW气体传感器提供的信号可用下面关系式表达:2µ002λµ+0f=+fhρ()kk+k−fh(4k+k)(1)01232012vλµ+2R00式中∆f:覆盖层由于吸附气体而引起的SAW频移的大小;kk,,k:压电基片材料常数;123f:SAW振荡器未受扰动时的振荡频率;h:薄膜厚度;ρ:薄膜材料密度;µ:薄膜00材料剪切模量;λ:薄膜拉曼常数;v:为受扰动时SAW相速。0R由(1)式可知,传感器响应∆f主要取决于薄膜密度ρ的变化。应当指出,(1)式只适用于非常薄的膜(膜厚小于波长的0.2

5、%),对于较厚的膜,(1)式只能给出信号幅度的估计值。当采用有机膜时,由于其剪切模量µ非常小,此式中第二项可以忽略,此时02f=fhρ(k+k+k)(2)0123当薄膜采用导电材料或金属氧化物半导体材料时,由于薄膜的电导率随所吸附气体的浓度而变,引起SAW波速漂移和衰减,从而振荡频率发生变化。在这种情况下,SAW气体传感器的输出响应可以用下面的关系式表达:222kσh0ff=−(3)022222σhv+C0RS式中k:电耦系数;C:薄膜材料常数;σ:薄膜电导率。由(3)式可得,当采用导电s0膜或金属氧化物半导体膜时,膜层电导率的变化是SAW气体传感器响应的主要贡献。3声表

6、面波气体传感器的基本结构3.1单通道SAW气体传感器的基本结构[8]单通道SAW气体传感器具有延迟线型和谐振型两种类型,如图2、3所示。-2-http://www.paper.edu.cn图2延迟线型SAW气体传感器图3谐振型SAW气体传感器[9]Yu.V.Gulyaev在实验中采用的窄波导的形式用以提高灵敏性,如图4所示。在实验03中使用的基底为128Y切割的LiNbO3,其体积为12×5×0.25mm,输入和输出IDT都有30对指,周期为8µm,两个IDT之间的距离为6.5mm,25µm宽0.5mm长的声波导两端与两个喇叭形的集合器相连放在两个IDT之间,两个提供电压的铝

7、电极放在声波导的两侧,间距为30µm,工作频率在486MHz附近,整个器件不涂覆任何敏感膜,为消除环境温度的影响,此传感器必须放入温控箱中。在不改变电压值的情况下,不同种类的气体相位延迟不同,因此只要分析声波传过波导后相位的延迟就可以判断气体的种类。可以通过调节加在传感器上的电压来提高器件的灵敏性。Yu.V.Gulyaev等已在实验中有效的分辨了甲醇、乙醇、丙酮、0丙酮-2,实验在12C时相位延迟不低于0.1度。这种结构可用于现代气体分析系统,例如电子鼻等。图4SAW传感器示意图3.2双通道SAW气体传

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