我国电子工部高纯水水质试行标准.doc

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1、我国电子工业部高纯水水质试行标准化学指标单位：μg/L序号水质项目一级高纯水指标二级高纯水指标1电阻率（25℃）MΩ·cm≥15≥102电导率，μs/cm0.050.13PH值6.8～7.26.6～7.44细菌总数，个/mL＜3＜95微粒（直径＞0.5μm，粒/mL）＜150＜3006二氧化硅＜10＜207有机物（以COD计）＜0.3＜0.58钠Na＜0.5＜29铁Fe＜1＜210铜Cu＜0.5＜111钙Ca＜1＜312镁Mg＜0.2＜113锌Zn＜0.5＜114锰Mn＜0.2＜0.5说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。　

2、　　②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。　　　③本表按1980年电子工业部标准摘录。