湿敏传感器课件.ppt

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1、7.3湿敏传感器湿度是指大气中的水蒸气含量，通常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方法。绝对湿度：指在一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位为g/m3，一般用符号AH表示。相对湿度：气体的绝对湿度与在同一温度下，水蒸汽已达到饱和的气体的绝对湿度之比，常表示为％RH。其表达式为：相对湿度给出大气的潮湿程度，它是一个无量纲的量，在实际使用中多使用相对湿度这一概念。露点（温度）在一定大气压下，将含有水蒸气的空气冷却，当温度下降到某一特定值时，空气中的水蒸气达到饱和状态，开始从气态变成液态而凝结成露珠，这种现象称为结露，这一特

2、定温度就称为露点温度，相对湿度为100％RH。如果这一温度低于0℃时，水蒸气将结霜，又称为霜点温度。两者统称为露点。空气中水蒸气压越小，露点越低，因而可用露点表示空气中的湿度。湿敏传感器的定义湿敏传感器是能够感受外界湿度变化，并通过器件材料的物理或化学性质变化，将湿度转化成有用信号的器件。主要由两个部分组成：湿敏元件和转换电路，除此之外还包括一些辅助元件，如辅助电源、温度补偿、输出显示设备等一个理想的湿敏传感器应具备的性能使用寿命长，稳定性好灵敏度高，线性度好，温度系数小使用范围宽，测量精度高响应迅速湿滞回差小，重现性好能在恶劣环境中使用，抗

3、腐蚀、耐低温和高温等特性好器件的一致性和互换性好，易于批量生产，成本低器件感湿特征量应在易测范围内湿敏传感器的主要参数及特性感湿特性湿度量程灵敏度湿滞特性响应时间感湿温度系数老化特性感湿特性每种湿度传感器都有其感湿特征量，如电阻、电容等，通常用电阻比较多。以电阻为例，在规定的工作湿度范围内，湿度传感器的电阻值随环境湿度变化的关系特性曲线，简称阻湿特性。有的湿度传感器的电阻值随湿度的增加而增大，这种为正特性湿敏电阻器，如Fe3O4湿敏电阻器。有的阻值随着湿度的增加而减小，这种为负特性湿敏电阻器，如TiO2－SnO2陶瓷湿敏电阻器。湿度量程指湿度

4、传感器技术规范中所规定的感湿范围。全湿度范围用相对湿度(0～100)％RH表示，它是湿度传感器工作性能的一项重要指标。感湿灵敏度简称灵敏度，又叫湿度系数。其定义是在某一相对湿度范围内，相对湿度改变1％RH时，湿度传感器电参量的变化值或百分率。各种不同的湿度传感器，对灵敏度的要求各不相同，对于低湿型或高湿型的湿度传感器，它们的量程较窄，要求灵敏度要很高。但对于全湿型湿度传感器，并非灵敏度越大越好，因为电阻值的动态范围很宽，给配制二次仪表带来不利，所以灵敏度的大小要适当。湿滞特性感湿温度系数反映湿度传感器温度特性的一个比较直观、实用的物理量。它表

5、示在两个规定的温度下，湿度传感器的电阻值(或电容值)达到相等时，其对应的相对湿度之差与两个规定的温度变化量之比，称为感湿温度系数。或环境温度每变化1℃时，所引起的湿度传感器的湿度误差。感湿温度系数ΔT——温度25℃与另一规定环境温度之差；H1——温度25℃时湿度传感器某一电阻值(或电容值)对应的相对湿度值；H2——另一规定环境温度下湿度传感器另一电阻值(或电容值)对应的相对湿度。(%RH/℃)=响应时间在一定温度下，当相对湿度发生跃变时，湿度传感器的电参量达到稳态变化量的规定比例所需要的时间。一般是以相应的起始和终止这一相对湿度变化区间的63

6、％作为相对湿度变化所需要的时间，也称时间常数，它是反映湿度传感器相对湿度发生变化时，其反应速度的快慢。单位是s。也有规定从起始到终止90％的相对湿度变化作为响应时间的。响应时间又分为吸湿响应时间和脱湿响应时间。大多数湿度传感器都是脱湿响应时间大于吸湿响应时间，一般以脱湿响应时间作为湿度传感器的响应时间。湿敏传感器的分类界限电流式湿敏传感器湿敏传感器电阻式电容式其它电解质式陶瓷式高分子式陶瓷式高分子式光纤湿敏传感器二极管式、石英振子、SAW式、微波式、热导式等湿敏传感器在精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，气象预报、医疗卫生、食品加工等行

7、业都有广泛的应用。电阻式湿敏传感器电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的，其感湿特征量为电阻值。根据使用感湿材料的不同，电阻式湿敏传感器可分为：电解质式陶瓷式高分子式7.3.1电解质式（氯化锂）湿敏电阻电解质是以离子形式导电的物质，分为固体电解质和液体电解质。若物质溶于水中，在极性水分子作用下，能全部或部分地离解为自由移动的正、负离子，称为液体电解质。电解质溶液的电导率与溶液的浓度有关，而溶液的浓度，在一定的温度下又是环境相对湿度的函数。氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线

8、、基片、感湿层与电极组成，如图7-33所示。图7-33湿敏电阻结构示意图氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在