海德汉产品样本.pdf

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1、综合样本直线光栅尺长度计角度编码器旋转编码器数控系统测头数显装置2011年9月约翰内斯·海德汉博士公司研制生产直线这份综合样本是海德汉公司主要产品线的光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显概要介绍。装置和数控系统。有关特定产品的更详细信息，请见第60页海德汉公司的产品被广泛应用于机床、自或访问www.heidenhain.com.cn。我们的动化机器系统和半导体和电子制造业等领销售人员愿为您提供全面服务。有关地址域。和电话信息，请见封底。在全球范围内，海德汉公司建立了50多个分公司和分支机构。我们的销售工程师和技术支持人员可以及时提供现

2、场技术支持和服。目录基本原理和制造工艺4精密光栅—高精度的基础5长度测量6封闭式直线光栅尺敞开式直线光栅尺长度计角度测量20角度编码器模块化编码器旋转编码器机床数控系统40铣床和加工中心的数控系统铣车复合加工机床的数控系统编程站刀具和工件设置和测量50工件测头刀具测头测量值获取和显示54数显装置接口电子电路更多信息60销售和服务62基本原理和制造工艺海德汉产品的高质量源自特殊的生产和测量设备。光栅尺的母模版和基体是在专门设计的有特殊温度调控和减振措施的超净车间中生产的。光刻机以及生产和测量直线和圆光栅码盘所需的机器大多由海德汉公司自己

3、开发和制造。直线光栅尺测量机直线光栅尺检查站我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度计量解决方案，充分体现我们的超强竞争能力。在众多应用中，我们的产品还被大量应用在为标准实验室设计研制的测量和检验设备，我们的角度编码器被应用在天文望远镜和卫星接收天线上。毫无疑问，海德汉的标准产品也受益于其中所积累的知识和经验。角度比较仪，测量步距约为0.001"超大天文望远镜（VLT），智利帕拉尼尔（照片由ESO提供）4精密光栅—高精度的基础海德汉公司光栅尺或编码器的核心是我们的测量基准，通常为0.25µm至10µm线宽的光栅尺。这些高精度的光栅尺采

4、用海德汉公司发明的光刻工艺生产（例如DIADUR或METALLUR），它是编码器功能和精度的决定性因素。光栅是由一系列等间距排列的刻线和狭缝组成，其间距误差极小，刻线边缘整齐清晰。这些光栅尺能抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。所有光栅尺都具有可定义的温度特性。相位光栅的刻线高度约为0.25µmDIADUR相位光栅MAGNODURDIADUR精密光栅是在基板上沉淀一层极采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅，微米级磁膜构成的精细磁栅。薄的铬，基板通常为玻璃或玻璃陶瓷材具有特定光学特性。这种结构的光栅宽度质。这种光栅尺精度可达到微米级或亚微

5、只有几微米至四分之一微米。米级。SUPRADURAURODURSUPRADUR工艺生产的光栅的光学特性类AURODUR光栅尺由高反射率的金线和亚似于相位光栅，但它具有平面结构，因此光蚀刻的狭缝组成。AURODUR光栅尺的抗污染能力强。基体通常为钢带。METALLURMETALLUR光栅尺具有独特金反光层的光学材料，接近为全平面结构。因此它抗污染能力强。不同基体材料的DIADUR和METALLUR光栅尺5长度测量封闭式直线光栅尺敞开式直线光栅尺海德汉公司的封闭式直线光栅尺能有效防海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头尘、防切屑和防飞溅的切

6、削液，是用于机与光栅尺或钢带光栅尺间没有机械接触。床的理想选择。这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较•精度等级±2µm仪和长度计量领域的精密仪器以及生产和•测量步距至0.005µm测量设备，例如半导体工业应用。•测量长度至30m•精度等级，不低于±0.5µm•安装简单、快捷•测量步距至0.001µm（1nm）•安装公差大•测量长度至30m•能承受大加速度载荷•读数头与光栅尺间无磨擦•抗污染能力强•尺寸紧凑和重量轻•运动速度快封闭式直线光栅尺有•标准光栅尺外壳–用于振动强烈的应用–最大测量长度30m•紧凑光栅尺外壳–用于有限安装空间应用

7、–最大测量长度1240mm，如果用安装板或紧固件，最大测量长度2040mm海德汉封闭式直线光栅尺的铝外壳有效保护光栅尺、读数头和导轨，避免其受灰尘、切屑和切削液的影响。自动向下压的弹性密封条保持外壳密封。读数头沿光栅尺的小摩擦力导轨运动。读数头通过一个联轴器与外部安装架连接，联轴器可以补偿光栅尺与机床导轨间不可避免的对正误差。DIADUR光源读数头光栅尺光电池密封条安装架6长度计增量式直线光栅尺通过从原点开始对测量海德汉公司的长度计自带测杆导轨。步距进行计数，或计算细分处理后的信号用于监测测量设备，用于工业计量，也用周期数确定当前位置

8、。海德汉公司的增量作位置编码器。式光栅尺或编码器有参考点，开机后必须•精度等级±0.1µm执行参考点回零操作建立原点。如果是距•测量步距至0.005µm（5nm）离编码参考点，回零操作非常简单、快•测量长度至100mm捷