光学薄膜知识.doc

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1、使用增透膜时注意要求1、使用的波长或者波段2、光线入射角度或角度范围3、对剩余反射率的要求4、使用环境的要求（比如高低温、酸碱性）5、激光领域，对激光阀值要求入射角度与反射率的关系：入射角度增加、反射率增大。玻璃增透膜的成膜材料有MgF2SiO2TiO2ITO膜层设计时，首先要注意的是膜层中不同膜材的膨胀系数，因为相差太大在后续加工处理中将引起牢固度差、龟裂和脱膜的现象。不同工艺生产的增透膜（玻璃）硬度性能对比溶胶凝胶法真空溅射法真空蒸镀法穿透率98%98%98%反射率2%以内2%以内2%以内玻璃颜色淡红深红深红强度表面硬度7H~29H7H以上5H以上耐擦洗性500次以上

2、膜层无影响差最差膜层均匀性好差最差使用反射膜时注意要求金属膜材料的选择原则：1、先考虑使用波段2、反射率要求3、使用环境4、制作成本5、常用有AlAgAuPt等材料镀膜铝Al最常用紫外可见红外银Ag反射率最高稳定性差金Au红外常用稳定铂Pt铑Rh稳定坚固全介质反射膜理论上只需增加膜系的层数，反射率可无限地趋近100%，实际上由于膜层的吸收（尤其是金属膜），散射损失，当膜系达到一定层数时，继续加镀膜堆，并不能提高其反射率，有时由于吸收、散射损失的增加而是反射率下降。因此，膜系中的散射，吸收限制了膜堆的最大数目。全反射膜主要用于大功率激光系统中（谐振腔）。多层反射膜分束膜一般

3、来件，分束膜总是倾斜使用，常以45°为准，分束膜有两种：1、中性分束膜（NPBS）适用：自然光、圆偏振光。有相应两种分束镜：平板型，胶合棱镜、分束镜，作用是使光强尽量分成50/50。2、偏振分束膜（PBS）应用广泛。一般都用棱镜分束镜。作用是将光分成偏振态不同的两束。平行板型分束镜分光效率高，偏振效应明显，但分光色散问题明显只用于中低要求的光学装置。