最新曝光原理与曝光机课件PPT.ppt

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1、曝光原理与曝光机課程綱要多層板製程曝光製程光阻曝光原理曝光光源系統曝光量測11/50多層板製程11/50疊板結構例：4L疊板L1-1oz:1.4mil1080:2.5mil7628:7.0milL2/L3-1.0mm,1/1:40mil7628:7.0mil1080:2.5milL4-1oz,1.4milTotal=61.8mil=1.569mm例：6L疊板L1-1/2oz:0.7mil1080:2.5mil7628:7.0milL2/L3-0.38mm,1/1:17.8mil2116:4.0mil2116:4.0milL4/L5-

2、0.38mm,1/1:17.8mil7628:7.0mil1080:2.5milL6-1/2oz,0.7milTotal=64mil=1.6mm11/50多層板製程示意11/50裁板銅箔基板磨邊導角內層剝膜內層蝕刻內層顯像內層曝光乾膜貼合前處理內層AOI疊板壓合黑/棕氧化鍍一次銅化學鍍銅除膠渣去毛邊鑽孔乾膜貼合鍍二次銅前處理外層曝光外層顯像鍍錫鉛外層剝膜外層蝕刻噴錫鍍鎳金文字印刷文字烘烤塞孔印刷防焊後烤綠漆顯像防焊預烤防焊塗佈前處理防焊曝光成品檢查斜邊成型真空包裝成品清洗V-Cut電測剝錫鉛外層AOI典型多層板製程Multi-Lay

3、erProcess基板處理內層製程壓合鑽孔鍍銅外層製程防焊製程表面處理檢驗成型11/50曝光製程11/50印刷電路板影像移轉製程影像移轉ImageTransfer將PCB設計圖像(Pattern)的工程資料由CAD/CAM上轉移至網板或底片上使用印刷或曝光方式將底片上影像移轉至阻劑上再經由蝕刻、電鍍或單純顯像方式製作線路或遮蓋部分板面曝光製程內層InnerLayerPrimaryImage外層OuterLayerPrimaryImage防焊SolderMask選擇性鍍金SecondaryImageTransfer11/50曝光製程-

4、內層內層PrintandEtch光阻在線路製作製程中使用，蝕刻完成後除去內層曝光光阻抗酸性蝕刻光阻塗佈壓膜DryFilmLamination滾塗RollerCoating乾膜：壓膜→曝光→顯像→蝕刻→剝膜膜厚1.0,1.3mil，能量45~60mj/cm2濕膜：塗佈→預烘→曝光→顯像→蝕刻→剝膜liquidfilm10~15m厚，需80~120mj/cm2因無Mylar層可做較細線路11/50曝光製程-外層外層PatternPlate光阻在線路製作製程中使用，電鍍完成後除去外層曝光(負片流程)光阻抗電鍍，抗鹼性蝕刻光阻塗佈壓膜Dr

5、yFilmLamination乾膜：壓膜→曝光→顯像→電鍍→剝膜→蝕刻膜厚1.3,1.5mil11/50外層正片/負片流程內層曝光正片PrintandEtch流程曝光聚合部分保護線路曝光顯像蝕刻外層曝光負片流程PatternPlate曝光聚合部分非線路曝光顯像電鍍蝕刻正片Tenting流程TentandEtch曝光聚合部分保護線路曝光顯像蝕刻11/50內層與外層製作比較內層流程外層負片電鍍流程外層正片Tenting流程11/50曝光製程-防焊防焊LPSM保護銅面PCB上永久性保護層防焊曝光光阻塗佈網印FloodScre

6、enPrinting簾塗CurtainCoating噴塗SprayCoating塗佈→預烤→曝光→顯像→後烘烤→UV硬化約0.8mil厚，能量400~600mj/cm2曝光時需抽真空使底片密貼板材並隔絕氧氣使聚合反應加速完成11/50光阻曝光原理11/50365nm光阻聚合製程光阻(乾膜/濕膜)→曝光聚合(UV)→顯像(碳酸鈉)曝光原理及製程G-line:436nmH-line:405nmI-line:365nm11/50光阻反應機構Sensitizer光敏劑接受初始能量,啟動反應(搖旗吶喊)Photoinitiator感光起始劑接

7、受,產生自由基,抓Monomer,連鎖反應形成聚合物對320~380nm波長敏感Monomer單體Crosslink,MigrateInhibitor遮蔽劑在未曝光時維持不反應(警察),MigrateBinder塑化劑強度11/50負型光組基本組成PolymerAcrylatetype,EpoxytypeCrossLinkerTri-,Tetra-,Penta-functionalSensitizerAcceptenergy,thentransfertophotoinitiatorPhotoinitiatorAcceptenergy

8、transferredfromsensitizerSolventControlviscosity,andfilmthicknessOtheradditivesLevelingagent,Inhibitor,Surfactant,Ant