无尘车间洁净度标准

《无尘车间洁净度标准》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、-.无尘车间干净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气干净度、温湿度、室压等都进展了规格化规定。但是，伴随着干净化程度的不断提高，美国联邦规格进展了改版，其容主要是以干净度进展分类。最新版已成为No209E，名称也进展了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JISB9920。JIS9920的级别表示是把0.

2、1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JISB9920的级别的主要容。表7美国联邦规格No.209B净化间级别粒子室压力PammH2O温度湿度气流换气次数照度粒径um累计粒子数围〔℃〕推荐值〔℃〕差〔℃〕高〔%〕最低%误差%100100010000100000≧0.5≧0.5≧5≧0.5≧5≧0.5≧51001000101000065100000700+13〔+1.3〕以上19.4—2522.2±2.8特别时为±1.44530±10特别时为±5层流方式0.45m/s±0.1m/s非层流方式≧20次/h1080--1620表8,美国联邦规格No.209E的干

3、净度级别分类级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度〔单位堆积粒子数〕表示。*级别名称**级别上限值-.word.zl.-.粒径0.1um粒径0.2um粒径0.3um粒径0.5um粒径5umSI***EnglishUnit(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)MIM1.5M2M2.5M3M3.5M4M4.5M5M5.5M6110100100010000100000350124035001200035000----------------9.9135.099.1350991--------------75.726575726

4、5075702650075700------------2.147.5021.475.02147502140------------30.9106309106030901060030900------------0.8753.008.7530.087.5300875------------10.035.310035310003530100003530010000035300010000003530000100000000.2831.002.8310.028.3100283100023801000028300100000283000--------------247618247061

5、802470061800--------------7.0017.570.01757001750-.word.zl.-.M6.5M7--*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进展计算。粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M:SI单位里的级别名称，D:粒径〔um〕***国际单位〔SystemeInternationald’Unites的缩写〕图1，209E的干净度级别〔图略〕图中的●标记表示评价干净度级别用的对象粒子。〔〕数值是用Englishunit表示级别。图2，JISB9920的干净

6、度级别的上限浓度表9，JISB9920主要容净化间级别标准粒径〔um〕累计粒子数(个/m3)123456780.10.10.10.10.10.10.10.1101102103104105106107108-.word.zl.-.表10，美国航空宇宙局规格主要容生物净化间级别粒子生物粒子室压力PammH2O温度℃湿度%气流换气次数照度Lx粒径um累计粒子数个/ft(个/l)浮游量个/ft(个/l)沉降量10010000100000≧0.5≧0.5≧5≧0.5≧5100〔3.5〕10000〔350〕65〔2.3〕100000〔3500〕700(25)0.1〔0.0035〕0.5〔0.0

7、176〕2.5〔0.0884〕1200〔12900〕6000〔64000〕30000〔323000〕+13〔+1.3〕以上推荐值40—50层流方式0.45m/s±0.1m/s非层流式≧20次/h1080—1620三、不同用途所要求的干净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5〔100〕、M4.5〔1000〕、M5.5〔10000〕、M6.5〔100000〕4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业容，要求