基于砷化镓的介观压阻效应微机械陀螺研究

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1、基于砷化镓的介观压阻效应微机械陀螺研究论文摘要:陀螺是惯性导航和制导的核心器件之一,决定着武器的精确打击能力,而高灵敏度陀螺是国外禁运技术,因此发展陀螺技术是国防建设的需要.微机械陀螺以体积（略）搞过载能力强等优势,成为世界各国研究的热点.本文就此提出了一种压阻系数比硅高的新型介观压阻效应微机械陀螺,对其敏感机理、结构设计、制造工艺、性能测试等方面开展了研究.（略）阻效应的敏感机理是:在力学信号作用下,多层纳米膜结构中的应变发生变化；一定条件下应变可引起结构内建电场的产生；内建电场将导致纳米带结构中量子能级发生变化；量子能级变化会引起共振隧穿电流变化.简言

2、之,在能发生共（略）条件下,通过上述四个物理过程,可将一个微弱力学信号转化为一个较强的电学信号.本文所研究的微机械陀螺采用电磁驱动的方式,（略）幅值稳定,驱动模态设计为滑膜阻尼,检测模态设计为压膜阻尼,当质量块运动间隙为15μm时,驱动模态品质因子为4591,检测模态品质因子为167.仿真分析了驱动模态和检测模态的固有频率分别为3530Hz和3671Hz,微（略）带宽为76Hz,驱动X方向抗冲击能力为24579g,检测Z方向抗冲击能力为7974g.结...Gyroscopeisthecoredeviceininertialnavigationandg

3、uidance,itted）theprecisionstr（omitted）lityofbargotechnologytoforeign,soitistheneedsofdevelopingt（omitted）petechnology（omitted）aldefense.allsize,loance,thegyroscopebeestheresearchhotspotaroundtheeso-piezoresistanceeffectgyroscopeitted）fficientthan...目录:摘要第5-7页Abstract第7-8页第1章绪论第12-

4、28页研究背景和意义第12-13页微机械陀螺国内外研究现状第13-26页陀螺概述第13-14页国外研究现状第14-20页国内研究现状第20-23页GaAs微器件的应用第23-26页本文研究特色第26页论文主要研究工作安排第26-28页第2章介观压阻效应微机械陀螺理论与技术基础第28-57页陀螺原理及动力学模型第28-36页陀螺工作原理第28-30页陀螺的动态模型第30-36页陀螺电磁驱动分析第36-43页运动方程第37-41页动生电动势分析第41-42页感生电动势分析第42-43页介观压阻效应检测分析第43-56页介观压阻效应理论第44-46页超晶格纳米薄

5、膜工作机理第46-48页介观压阻效应的检测方法第48-53页介观压阻系数测量方法第53-56页本章小结第56-57页第3章介观压阻效应微机械陀螺的设计第57-96页陀螺结构设计第57-83页结构方案的选择第57-59页(责任编辑：1011)