尾气回收工艺操作规程

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1、还原氢化车间尾气回收工艺操作规程(试行)国电宁夏太阳能有限公司2009年12月10日发布（第1版）编制：审核：批准：生效日期：2010年07月01日（第1版）目录1总体说明11.1概述11.2适用性12工艺技术规程12.1装置简介12.2工艺原理22.3工艺流程说明32.3.1尾气冷凝和压缩系统32.3.2吸收和解吸系统42.3.3吸附再生系统42.3.4精馏系统52.4工艺流程图63工艺指标63.1原料指标63.2产物以及副产物的指标73.3生产规模83.4公用工程条件指标84操作指南84.1尾气回收系统操作原则84.2安全常规84.2.1换热器94.2.2泵94.2.3塔94.2.4

2、压力容器94.2.5压缩机94.3尾气回收系统首次启动94.3.1尾气回收系统的氮气惰化104.3.2尾气回收系统的氢气置换114.3.3制冷单元T600114.3.4蒸汽单元T980和T40012II4.3.5尾气回收单元充入STC134.3.6吸附单元T500144.3.7尾气压缩机成套包154.3.8氯化氢吸收单元T200164.3.9氯化氢解析单元T300174.3.10冷凝单元T100184.3.11氯硅烷精馏单元T400195尾气回收系统的标准操作205.1冷凝单元T100205.1.1初级和二级冷凝器V9200T100AW100A/B/C和V9200T100AW110A/B

3、205.1.2氯硅烷凝液槽V9200T100AB110/150/160215.1.3尾气压缩机215.2氯化氢吸收单元T200225.2.1尾气的预冷V9200T200AW120/121/130225.2.2洗涤液冷却器V9200T200AW140/150/151/160235.2.3氯化氢吸收塔V9200T200AK100235.3氯化氢解吸单元T300245.3.1氯化氢解吸塔V9200T300AK110255.3.2氯化氢缓冲罐V9200T300AB210和蒸发器V9200T300AW205/200/208265.4氯硅烷精馏单元T400275.4.1氯硅烷精馏塔V9200T300

4、AK120275.5吸附单元T500286停车过程296.1尾气回收系统的长时间停车296.1.1冷凝单元T100306.1.2氯化氢吸收单元T200、解吸单元T300、氯硅烷精馏单元T400和压缩机316.1.3整个尾气回收系统的降压346.1.4吸附单元T500346.1.5蒸汽单元T980和T400356.1.6深冷单元T600356.2尾气回收系统的短时间停车367.检查与维护36II尾气回收工艺操作规程（绝密）1总体说明1.1概述本操作手册中包含了安全、有效率地操作尾气回收装置必要的信息。该装置应由经过充分培训、有资格胜任的员工进行操作。本操作手册是装置技术文件的一部分。要将此

5、操作手册放在装置附近。如果该操作手册中指定的值与其它文件中指定的值相矛盾，则以最新修改版文件中指定的值为准。本操作手册中所有的示意图只是为了起到说明的作用。至于详细资料，请参考最新版图纸或文件。声明：本手册非最终版。1.2适用性本操作手册适用于国电宁夏太阳能有限公司2500t/a多晶硅项目。该操作手册将提供将提供安全操作装置的必要信息。2工艺技术规程2.1装置简介尾气回收单元由尾气冷凝、尾气压缩、HCL吸收、HCL解吸、氯硅烷精馏、吸附、制冷等部分组成。从还原氢化来的还原、氢化尾气，经此工序被分离成三氯氢硅、四氯化硅、氢气和氯化氢，分别循环返回各系统。还原、氢化反应尾气经多级冷凝后，气体

6、中的大部分氯硅烷被冷凝下来，然后由泵将冷凝液直接送入氯化氢解析塔，不凝气进入尾气压缩机压缩并经冷冻降温后，送入氯化氢吸收塔，进行两级淋洗。一级淋洗是被从氯化氢解析塔底部送来的经冷冻降温的氯硅烷液体在吸收塔塔顶喷淋，二级淋洗是被从氯化氢吸收塔底部送来的经冷冻降温的氯硅烷在吸收塔中下37尾气回收工艺操作规程（绝密）部喷淋。气体中的绝大部分氯化氢被氯硅烷吸收，气体中残留的大部分氯硅烷也被冷凝下来。出塔顶的气体为含有微量氯化氢和氯硅烷的氢气，经一组变温变压吸附塔进一步除去氯化氢和氯硅烷后，得到高纯度的氢气，该氢气循环回收到还原氢化工序参与还原或氢化反应。吸附塔的再生气含有氮气、氢气、氯化氢和氯硅

7、烷，送往废气处理工序处理。出氯化氢吸收塔塔釜溶解有氯化氢气体的氯硅烷经过换热器与氯化氢解析塔的氯硅烷换热后，进入氯化氢解析塔的中部，通过精馏，在氯化氢解析塔塔顶得到提纯的氯化氢冷凝液。氯化氢冷凝液经泵送入氯化氢缓冲罐，经氯化氢汽化器加热汽化后，送至三氯氢硅合成工序循环使用。塔釜得到除去氯化氢的氯硅烷液体，大部分经冷却降温后，送回氯化氢吸收塔用作吸收剂，剩余的氯硅烷液体送往循环TCS精馏塔或氯硅烷贮存工序。循环TCS精馏塔分离来自氯化