lab 7 mos管版图设计

《lab 7 mos管版图设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、Lab7MOS管版图设计1.实验目的1.1掌握MOS管版图设计规则1.2熟悉LSW设计环境1.3学会MOS管版图设计方法2.实验原理MOS管单元版图设计是整个版图设计的基础。根据工艺文件提供的版图设计规则，可以以几何绘图的方式完成版图设计。在具体设计版图之前，首先是准备工作：在librarymanager中建立nmos版图视图，打开virtuosolayoutediting窗口与LSW窗口，熟悉两窗口中菜单命令，建立工艺库所需的版图层次及其显示属性，设置版图设计环境下的盲键等。以上工作在lab6中已

2、经完成设置，下面以给定的设计规则为依据，进行nmos等单元版图设计。2实验内容3.1设计nmos版图（版图如图7.1所示）图7.1nmos版图图7.2pmos版图3.1.1nmos设计规则①ndiff过覆盖contact0.9u②最小contact宽度0.6u③contact间距0.6u④contact与栅间距0.6u⑤poly超出ndiff0.6u⑥metal过覆盖contact0.4u⑦width为3.6u⑧length为0.6u注意：⑦与⑧所限定的器件尺寸不属于设计规则，在此列出仅为设计方便。

3、3.1.2创建nmos视图①在CIW中，选择File→Open，参数设置如下：LibraryNamedesignCellNamenmosViewNamelayout点击OK，打开design的空白窗口，以下编辑将实现nmos版图结构如图所示。①在LSW窗口中，选择polydrawing作为当前编辑层。②选择Create→Path或按盲键[p]，来绘制多晶硅栅体。③在design窗口中，点击LMB，从坐标原点x＝0、y＝0到x＝0、y＝4.8连线poly，之后双击LMB或按Return（Enter）键

4、，完成栅体绘制。④在LSW窗口中，选择ndiffdrawing层为当前编辑层，选择Create→Rectangle或按盲键[r]，用以绘制扩散区。⑤在design窗口中，选择不在同一直线的任意两点，点击LMB形成矩形扩散区，矩形形状可在后续操作中调整。3.1.1调整ndiff与polypath①选择Window→CreateRuler或按盲键[k]，在设计窗口中加入Ruler，以便精确控制版图尺寸。②按Return键或点击LMB完成Ruler的添加，可选择Window→ClearAllRulers或

5、按盲键[K]，删除添加的Ruler。③选择Edit→Stretch或按盲键[s]，在设计窗口中，使用LMB选择需要调整的目标或目标的一部分，选择后以高亮显示，拖动鼠标至合适位置后释放，完成目标大小的调整。注意：调整path时，确保只有path的中线高亮显示，否则，有可能将path的宽度也进行了调整。3.1.2绘制Source与Drain①在LSW窗口中，选择matal1作为当前编辑层，选择Create→Rectangle或按盲键[r]，绘制一个矩形，用以源区金属连接。②在LSW窗口中，选择conta

6、ctdg作为当前编辑层，选择Create→Rectangle或按盲键[r]，绘制两个正方形，作为源区接触孔。③按照设计规则，调整contacts与metal1的位置。④同时选择contacts与metal1（选择一个目标后按Shift键，继续选择其它目标，操作与Windows系统相同），选择Edit→Copy或按盲键[c]，因为mos器件的对称性，可通过拷贝完成漏区的绘制。⑤点击高亮显示的被选目标实现拷贝，在空白处点击LMB实现粘贴。⑥按照设计规则，利用Ruler和Stretch调整版图尺寸。⑦选择

7、Options→Display或按盲键[e]，点亮Axes，选择Edit→Move或按盲键[m]。⑧选择所有nmos版图的组件，点击选中并放置到合适位置。⑨完成绘制后，选择Design→Save并关闭窗口。3.2设计pmos版图（版图如图7.2所示）注意：由于mos器件尺寸与制造工艺的对称性，可以从nmos出发，通过改变器件尺寸与工艺的方法，相对简单地绘制出pmos。当然，也可从基本设计规则出发，与绘制nmos一样来绘制pmos版图，具体设计详见附加实验。3.2.1pmos设计规则①nwell过覆盖

8、pdiff0.4u②pdiff过覆盖contact0.9u③最小contact宽度0.6u①contact间距0.6u②contact与栅间距0.6u③poly超出pdiff0.6u④metal过覆盖contact0.4u⑤width为7.2u⑥length为1.0u注意：⑧与⑨所限定的器件尺寸不属于设计规则，在此列出仅为设计方便。3.1.1拷贝nmos①在CIW中，选择Tools→LibraryManager，点击Library中的design并点亮刚才绘制的nmo