tpy-椭偏法测量薄膜厚度的实验研究

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1、---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------TPY-2椭偏法测量薄膜厚度的实验研究摘要随着薄膜技术在信息存储、电子元器件、航天技术以及光学仪器等方面越来越广泛的应用，薄膜光学特性和表面形态的准确测量逐渐成为薄膜研究的重要方向。本论文介绍了测量薄膜厚度的几种方法，详细研究了椭偏法的测量原理，使用TPY-2自动椭圆偏振仪进行了实验，并使用干涉原理做了对比实验，综合

2、比较了两种仪器的优缺点，提出了减小系统误差的建议。10277关键词薄膜厚度测量方法椭偏仪毕业设计说明书（论文）外文摘要TitleExperimentalstudyoftheellipsometricmeasurementoffilm11/11---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------TPY-2椭偏法测量薄膜厚度的实验研究摘要随着薄膜技术在信息存储、电子元器件

3、、航天技术以及光学仪器等方面越来越广泛的应用，薄膜光学特性和表面形态的准确测量逐渐成为薄膜研究的重要方向。本论文介绍了测量薄膜厚度的几种方法，详细研究了椭偏法的测量原理，使用TPY-2自动椭圆偏振仪进行了实验，并使用干涉原理做了对比实验，综合比较了两种仪器的优缺点，提出了减小系统误差的建议。10277关键词薄膜厚度测量方法椭偏仪毕业设计说明书（论文）外文摘要TitleExperimentalstudyoftheellipsometricmeasurementoffilm11/11----------------------------------------

4、-----------------------范文最新推荐------------------------------------------------------thicknessAbstractWiththinfilmtechnologymorewidelyusedininformationstorage,electroniccomponents,aerospacetechnology,andopticalinstruments,theaccuratemeasurementofthinfilmopticalpropertiesandsurfacemor

5、phologygraduallybecomeanimportantdirectionofstudyofthethinfilms.Thisarticledescribesseveralmethodsformeasuringfilmthickness，Studiedindetailthemeasurementprincipleofellipsometry，UseofTPY-2automaticellipsometryexperiments，Andmadeacomparativeexperimentusingtheinterferenceprinciple，com

6、prehensivecomparisontheadvantagesanddisadvantagesofthetwoinstruments,Putforwardtheproposaltoreducesystematicerrors.KeywordsFilmthicknessMeasurement11/11---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------methods

7、Ellipsometer目次1绪论11.1测量薄膜厚度的意义11.2测量薄膜厚度的方法11.3椭偏测量术32.干涉法测量薄膜厚度的原理63.椭偏法测量薄膜厚度的原理711/11---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------1.2.1光谱法光谱法的基础是光的干涉理论，依据薄膜与基底，再到薄膜界面上的光束的透射或反射，引起双光束或多光束干涉效应，具有不同特性的薄膜具

8、有不同的光谱反射率或透射率，而且在全光谱范围内和薄膜