方块电阻标准检验方法

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1、TP材料测试标准检验方法系列编写：王祥方块电阻标准检验方法1检验项目：ITO方块电阻2定义：利用四探针法在一定的压力之下测得的面电阻值。3适用范围：本标准检验方法适用于ITO材料方阻的测量。4目的：测量ITO材料的方阻以判定ITO镀膜品质。5测量原理及检验方法：5.1方法一5.1.1样品准备：ITOFilmITOGlass5.1.2使用装置：四探针测试头、导线、万用表、稳压电源5.1.3测量原理a)给四探针测试头两探针施加DC1V电压，另外两探针接万用表直流电流挡，如图2b)依公式算出方块电阻计算公式：RS=2π*V/(ln2*I)RS：方块电阻Ω/□V：施加的电

2、压I：测得的电流注意：探头的表面弧度为SR0.9mm探头压力0.45±0.15N或50±15gf探头间距3mm，如图1TP材料测试标准检验方法系列编写：王祥5.1.4操作步骤：a)Film按TD*355mm切割材料，Glass按进料尺寸b)将稳压电源调至ON，电压调至1Vc)将稳压电源正极接至探针一端、负极接至探针另一端，如图d)将万用表置直流电流档，一表笔接至探针一端，一表笔接至探针另一端，如图e)将试片有效区域等距分成N点，开始测试并记录数值。f)将所测得数值输入表1，计算其方阻。5.2方法二5.2.1样品准备：ITOFilmITOGlass5.2.2使用装置

3、：方阻仪5.2.3操作步骤：g)Film按TD*300mm切割，Glass按进料尺寸h)将稳压电源调至ON，电压调至1Vi)将方阻仪置ON挡j)将试片有效区域等距分成N点，开始测试并记录数值。k)将所测得数值输入表1，计算其方阻。6评定准则方阻均匀度6.1来料：MD方向均匀度≤8%；TD方向均匀度≤5%6.2预缩后：MD方向均匀度≤10%；TD方向均匀度≤7%7参考资料7.1《NittoITOFilm规格书》7.2《南玻ITO玻璃规格书》7.3刘新福,孙以材,刘东升.四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J].半导体技术,2004,29(7)7.4刘新福,孙以材.微

4、区薄层电阻测试方法的研究[J].河北工业大学学报,2003,32(3)7.5孙以材,张林在.用改进的VanderPauw法测定方形微区的方块电阻[J].物理学报,1994,43(4)8数据处理8.1计算方法XAve.=（列1+列2+列3）/3X极差=XMax.-XMin.XTD=2[ABS(列2-列1)+ABS(列3-列2)+ABS(列3-列1)]/3*(XMax.+XMin.)YAve.=（行1+行2+行3）/3Y极差=YMax.-YMin.YTD=2[ABS(行2-行1)+ABS(行3-行2)+ABS(行3-行1)]/3*(YMax.+YMin.)TP材料测试

5、标准检验方法系列编写：王祥8.2附表1方阻检验记录及报告检验日期：　　年　　月　　日l室温：　　　　　检验批号：　　　　　l湿度：试样：供应商料号：表1：方块电阻检验记录表试片___列1列2列3X1X2X3XMax.XMin.XAve.X极差XTD行1行2行3Y1Y2Y3YMax.YMin.YAve.Y极差YMD备注：