硅单晶腐蚀片-中国有色金属标准质量信息网

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1、ICS29.045H82YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/TXXXXX—XXXX硅单晶腐蚀片Monocrystallinesiliconetchedwafers（本稿完成日期：）XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施中华人民共和国工业和信息化部发布YS/TXXXX-XXXX前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。本标准起草单位：天津市环欧半导体材料技术有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、本标准主要起草人：由佰玲、张雪囡、蒋建国、孙燕、朱兴萍、沈浩平等7

2、YS/TXXXX-XXXX硅单晶腐蚀片1　范围本标准规定了硅单晶腐蚀片的分类及规格、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和质量证明书等。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括区熔中子嬗变和气相掺杂）制备的硅单晶研磨片经化学腐蚀液去除表面损伤层后制备的酸腐蚀片和碱腐蚀片（以下简称腐蚀片）。产品主要用于制作晶体管、整流管、特大功率晶闸管、光电器件等半导体元器件或进一步加工成硅抛光片。2　规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于

3、本文件。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅单晶电阻率测定方法GB/T1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB/T1555半导体单晶晶向测定方法GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T3505产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数GB/T6616半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻率测试方法非接触涡流法GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T6619硅片弯曲度测试方法GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法GB/T6624硅抛光片

4、表面质量目测检验方法GB/T11073硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T12767-1991粉末冶金制品表面粗糙度参数及其数值GB/T12962硅单晶GB/T12964硅单晶抛光片GB/T13387硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法GB/T14140硅片直径测量方法GB/T14264半导体材料术语GB/T14844半导体材料牌号表示方法GB/T20503-2006铝及铝合金阳极氧化阳极氧化膜镜面反射率和镜面光泽度的测定20°、45°、60°、85°角度方向GB/T26067硅片切口尺寸测试方法GB/T26068硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电

5、导衰减测试方法YS/T26硅片边缘轮廓检验方法ASTMD523:镜面光泽度的标准测试方法（StandardTestMethodforSpecularGloss）7YS/TXXXX-XXXXJISZ8741:1997表面光泽度---测量方法（Specularglossiness---Methodsofmeasurement）SEMIM40-1109硅片二维表面粗糙度测定指南（Relatedinformation1ExperimentsAndModelsRelatingToRoughnessDistributionofSiliconWafers）1　术语和定

6、义GB/T14264和GB/T30453界定的以及下列术语和定义适用于本文件。1.1　表面光泽surfacegloss物体受到光照射时表面反射光的能力,是物体通过表面反射光强度能力的一种目视感觉属性。硅片的表面光泽度与其粗糙度有关，可以使用光泽度仪进行测量。1.2　表面光泽度surfaceglossiness在规定的光源和接收器张角的条件下，样品在镜面反射方向的反射光光通量与标准陶瓷板样品在该镜面反射方向的反射光通量之比。标准陶瓷板样品是被规定的。光泽度值通常以数值表示，单位是Gs（光泽单位）。1.3　表面反射率surfacereflectivity在规

7、定的光源和接收器张角的条件下，镜面反射方向的反射光光通量与入射光光通量之比。其数值通常以百分数表示。1.4　表面腐蚀胞surfaceetchedunitecell硅单晶片的不同晶面腐蚀速率不同，腐蚀过程中晶胞的三维结构发生变化后在硅片表面形成的图形。通过显微镜能够观察硅片表面腐蚀胞的形貌并测量腐蚀胞的长、宽、凹、凸尺寸等结构参数。注：表面腐蚀胞的结构和形貌强烈依赖于硅单晶片的晶向和掺杂剂浓度、化学腐蚀液性质、腐蚀工艺条件等。酸腐蚀和碱腐蚀的硅单晶片表面腐蚀胞具有完全不同的形貌。2　分类及规格2.1　牌号腐蚀片的牌号表示方法参照GB/T14844的规定。2

8、.2　分类2.2.1　腐蚀片按腐蚀液的种类分为酸腐蚀片、碱腐蚀片两种。2.2.2