太阳能多晶硅片的检测

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1、天威新能源(成都)硅片有限公司文件编号TNG.JJY.015-2009版次A硅片检验规程生效日期2009年02月10日1目的为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。2范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。4内容4.1检验方式4.1.1外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2电学及其他性能抽检，每个硅块抽取200片用Man

2、z硅片分选设备对其导电类型、电阻率、、厚度、TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。4.2检验步骤a)每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验；b)在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验；c)在抽检的200片当中如果只有30片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少

3、子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的200片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检；例如：如某一硅块理论切片数为535片，抽检了200片，当中有29片不满足4.3中相关要求。则将29片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的171（200-29）片连同前面的335片（535-200）进行外观上的全检；编制：校对：审核：标准化：批准：发送部门份数第5页共5页天威新能源(成都)硅片有限公司文件编号T

4、NG.JJY.015-2009版次A硅片检验规程生效日期2009年02月10日a)依据4.3中相关要求对硅片进行分类。4.3技术要求按质量要求将硅片分为A级硅片、B级硅片、C级硅片、D级硅片四级，如下表1。其中将A级硅片按电阻率分为A1（0.5～3Ω.cm），A2（3～6Ω.cm）2个类别，B级硅片按部分性能不满足A级硅片要求分为B1，B2，B3，B4，B5，…，B9共9种类别；C级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片（如125mm×125mm），其他检验参数符合A级硅片标准。具体要求见下表。

5、硅片公司按A级硅片生产，允许按用户要求提供B级硅片或是C级硅片。表1太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目ABCD检测方法检验方式A1A2B1、B2、B3…B91导电类型PP可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（125×125）硅片后，其他性能符合A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、C级要求的硅片均归为D级硅片分选设备抽检2隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3崩边长度≤1mm，深度≤0.5mm，每片崩边总数≤2处；长度≤1mm，深度≤0.5mm，每片崩边总数≤2处；B1—1mm＜崩边长度≤5mm，1mm

6、＜深度≤2mm，1＜崩边总数≤3目测全检4TTV≤30μm≤30μmB2—30μm＜TTV≤50μm；硅片分选设备抽检5厚度200±20μm200±20μmB3—厚度偏差超过±20μm但小于±40μm硅片分选设备抽检6尺寸156±0.5mm156±0.5mmB4—硅片尺寸偏差超过±0.5mm但小于±1.0mm硅片分选设备抽检7倒角1±0.5mm、45°±10º1±0.5mm、45°±10ºB5—倒角尺寸偏差超过±0.5mm但小于±0.8mm硅片分选设备抽检8线痕深度≤8μm深度≤15μmB6—15μm＜深度≤30μm目测、必要时使用表

7、面粗糙度仪帮助判定全检9电阻率0.5-3Ω•cm；3-6Ω•cm0.5-3Ω•cm；3-6Ω•cmB7—电阻率＜0.5Ω.cm硅片分选设备抽检10少子寿命≥2μs≥2μsB8—0.5μs≤少子寿命＜2μs少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检第5页共5页天威新能源(成都)硅片有限公司文件编号TNG.JJY.015-2009版次A硅片检验规程生效日期2009年02月10日续表1序号检验项目ABCD检测方法检验方式A1A211表面质量状况硅片表面及侧面无凹坑，无沾污，无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；硅片表面及侧面无凹坑，无明显沾污（表面沾污

8、总面积小于3mm2，每一百片单边侧面沾污总面积小于20mm2）（判断时参照沾污样本片进行判定），无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；B9—硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑；油点或其他赃物不得有3处，每处沾污或其他赃物面积≤1m