无尘室运转与维护管理.doc

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1、无尘室运转与维护管理简介：无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度；无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨；无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。关键字：无尘室污染源运转管理维护保养一、污染源控制　　无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员

2、占约80%，如图1所示。实验数据显示，作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。　　无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，图2为微尘粒子的传送路径。　　对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为无尘室管理的

3、重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四：　　1.外部尘埃侵入之防止：　　无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。　　2.室内发尘之防止：　　隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。　　3.室内发尘之不积留：18　　墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应

4、留有空间。　　4.发生尘埃之排除：　　换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。　　人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节祥述。表1自然界微尘粒子数测量地点微尘粒子数（个/ft³）≥0.5µm大气层圈≦100田园地区（微风状态）100，000~300，000住宅地区100，000~200，000办公室（工作中）200，000~400，00018工业区400，000~1，000，000正在吸烟的会议室

5、600，000~1，000，000二、无尘室运转管理　　无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨，并依计划（planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。1.作业人员之管理　　前以提及在无尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入无尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下：　　（1）进入无尘室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维

6、持最好状态之观念。　　（2）作业人员进入无尘室数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依无尘室进出标准流程进出无尘室，如图3所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。　　（3）对作业人员必须经常讲解无尘室管理之数据，并加以教育与训练，内容如无尘室管理之一般常识、无尘室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、无尘室内之步行方式等，并经考试合格者方能进入无尘室工作。　　（4）在无尘室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。　　（5）在无尘室内之作业人员或其它人员之移

7、动或动作均为发尘源，其直接影响制程，同时亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情形，基本上须注下列事项：　　a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。　　b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。18　　c.与作业无关的私心谈话尽量避免。　　d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。表2所示为人体在不同动作时之发尘量。　　e.作业要在洁净之工作柜或工作桌进行。　　f.工具等器具须收入有盖子之箱子或柜中，并置放一定的场所。　　（6）作业人员须经常保持干净之手，除了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以防皮肤之剥

8、离，男性须每天刮胡子。　　（7）洁净衣要经常保持着衣之状态。　　（8）下列所述者不能进入无尘室：　　a.非作业人员或事先未得许可者。　　b.未照规定穿着洁净衣者。　　c.刚做激烈运动流汗者。　　d.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。图4为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图，由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的90倍，直至30分钟后才降至15倍，此为为何无尘室禁