纳米图像印刷技术.

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1、摘要论文题目:纳米图像印刷技术学科名称:-------研究生:---------签名:指导教师:--------签名:摘要纳米图像印刷技术就是将具有纳米凹凸图像的模具作“印版”,用预先涂有聚合物涂层的硅片或玻璃片等作基板(被印物),在相应的设备和器具配合下,通过精确压印并定型以后,再把模具与基板分离开来。这时,人们会发现,存在于模具表面的纳米凹凸图像便准确无误地被转印到基板表面的聚合物膜上了。关键词:纳米图像印刷;压印转印工艺III目录Title:NAMO-IMAGEPRINTINGTECHNOLOGYMajor:PrintingandPackagingTechno

2、logyandMachinesName:Signature:Supervisor:Prof.HaiyanZHANGSignature:AbstractNanotechnologyistheprintedimagehavingamoldfornano-reliefimage"plate",withpre-coatedwithapolymercoatingsuchasasiliconwaferorglasssubstrate(printedmaterial),andacorrespondingapparatuswiththedevice,afterembossingan

3、dstereotypesthroughaccurate,thenseparatedfromthemoldandthesubstrate.Atthistime,peoplewillfindthatnano-reliefimagewillbepresentinthesurfaceofthemoldistransferredaccuratelytothesurfaceofapolymerfilmsubstrate.Keywords:Nano-imageprinting;imprinttransferprocessIII目录目录1绪论11.1引言11.2纳米图像印刷技术发展

4、状况11.3本文主要研究内容和方法22纳米图像印刷工艺及其特点32.1热压印工艺32.2室温纳米图像印刷工艺42.3柔性纳米图像印刷工艺43结束语7参考文献8III绪论1绪论1.1引言纳米技术其实就是一种用单个原子、分子射程物质的技术。它属于一门交叉性很强的综合学科,研究的内容涉及现代科技的广阔领域。所以当纳米遇到印刷就引发了强烈的“化学反应”。刷摒弃了传统感光成像思路,无需暗箱操作而且制版流程简单。这就是所谓的纳米图像印刷技术。说到底就是一种新型的压印转印技术,它将被广泛用于纳米凹凸图形的加工制作。将具有纳米凹凸图像的模具作“印版”,用预先涂有聚合物涂层的硅片或玻

5、璃片等作基板(被印物),在相应的设备和器具配合下,通过精确压印并定型以后,再把模具与基板分离开来。这时,人们会发现,存在于模具表面的纳米凹凸图像便准确无误地被转印到基板表面的聚合物膜上。这个被转印出的图像与模具表面的凹凸图形大小相等,深浅一致。但形状正好相反(阴转阳的图像),即前者的凸起处恰是后者凹下去的地方,反之亦然。纳米图像印刷技术之所以引人注目,是因为该技术与传统精细加工(如光刻蚀技术、真空蒸镀技术、电子束加工技术和化学蚀刻技术等)不同,它既无需苛刻的加工环境要求(如超净车间、防震技术指标等),又无需严格的条件控制(如恒温、恒湿、高真空度等),就能高精度地加工

6、出各种纳米凹凸图形来。并且还可大批量、低成本地制作此类产品。对此,日本的宫内等人,在发表的相关文章中,特别对包括纳米图像印刷技术在内的软印刷技术与传统工艺之间,制图作了比较。纳米图像印刷技术作为一门实用性很强的应用技术,它在纳米电子器件、纳米光学元件、纳米生物传感器及其他具有纳米结构的功能图形制作方面,将显现出其独特的技术优势。1.2纳米图像印刷技术发展状况今天,人们也毫不怀疑纳米图像印刷技术,将为IT与微电子产业、生物与生命科学、环境与新能源技术等领域的加速发展带来重大的影响。纳米图像印刷技术的研究与开发,始于20世纪90年代中后期,它是由美国普林士顿大学的Cho

7、u教授首先开创的,经过近10年的研究、深化和技术配套,目前,该技术正进入初步的实用化阶段。与此同时,Chou教授又亲自出马组织策划,并相继(或计划)召开一系列相关国际会议(InternotionalConferenceonNanoimprintNanoprintTechnology),以促使该技术提升并向全球拓展开来。第1届、第2届国际会议分别于2002年12月和2003年12月在美国本土的波士顿等地召开。只过了1年,即2004年12月,又在奥地利的维也纳召开了第3届国际会议。紧接着,计划中的第4届大会将于2005年10月在日本的奈良召开。总之,纳米图像印刷技术

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