复合真空计的原理和使用方法

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1、真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多,这里介绍的复合真空计是常见的一种,复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。温差电偶真空计的原理     温差电偶真空规管由玻璃制成,通过小管8和真空系统相接,如图2所示,在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4,温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。    由于在低压下,气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流(90～150mA)一定的条件下,热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高,温差电偶电动势也就随之而增大。因此,通过测量温差电偶电动势,就可确定出被测系统的真空度,温差电偶真空计就是根据

2、这个原理制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2Pa。热阴极电离真空计的原理     电离真空规管就是一只三极管,如图3所示,通过B管与真空系统相接,使用时,在灯丝电路中通以电流5mA,灯丝受热后便发射电子,由于栅极为正电压,使电子加速,中途与气体分子相碰,气体的密度越大,碰撞机会越大,产生的正离子也越多。另外,由于板极电压为负,便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip,气体分子密度越大(即压强越大),板极电流也越大,反之就小。所以,通过测量板极电流便可以确定气体的压强,热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器,测量范围为1×1

3、0-2～1×10-5Pa。注意:一旦测量完结,立刻关闭电离真空规管灯丝,这样可延长规管使用寿命。复合真空计的使用     复合真空计由上述两种真空计组合而成,现在常用的型号有WXK型和FZH型,使用方法基本相同。现就WZK-1A型介绍如下。如图4所示是WXK-1A型的板面图,K1为电流总开关,开关K3、K4及电位器W5和电表CB2属于温差电偶真空计部分,其余均属于热阴极电离真空计部分,温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上,测量时,各用一根电缆线与复合真空计相接,在使用前或停止使用时,应该使面板上的所有开关都处于关闭状态,如图4所示。     (1)温差电偶真空计的使用:

4、接通电流,预热10min,使K4放在(加热电流)位置,调节W5使CB2表的指针在下面一行刻度(mA)上达到加热电流的规定值(记在每只温差电偶真空管的管座上或按说明书规定),然后使K4放在(测量)位置,从CB2表的上面一行刻度(mV)可读出温差电偶电动势,利用规管标准曲线,即可查出所测的真空度(有的温差电偶真空度直接刻在CB2表分度盘上)。     (2)电离真空计的使用:当被测系统的真空度低于0.1Pa时,不能接通电离真空计,否则会烧坏电离真空规管,必须在温差电偶真空计CB2表的指针达到满偏转刻度时,才能使用电离计,电离真空计暂时不用时,需断开电离计电源,否则会影响电离真空规管的寿命

5、。    ①发射电源的调节:在未接通电源时,采用五芯电缆线把电离真空规管与仪器联接,带鳄鱼夹的接线与电离真空规管板极联接,有香蕉插头一端与仪器背面接线柱连接,接通电源,预热10min,把K7放在(测)位置,K6放在(发射电流)位置,调W4使CB1表指针指在红色标线“5”处。此时发射电流即为标准值5mA。     ②零点调整:完成上一步后,K6放在(测量)位置,K5放在(调零)位置,调节W3让表的指针指向零。    ③满偏转刻度调整:完成调零工作后,把K5置于(测量)位置,把W1调到(校准)位置,调节W2使指针满刻度。   ④测量压强(真空度):完成上一步后,将W1转到量程103,10

6、2,⋯;由电表指示的数值乘以量程开关所指示的数值,即所测量真空度之值。