微区压印法制作微透镜阵列扩散片研究

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2、子文档的内容和纸质论文的内容一致苏州大学有权向国家图书馆中国社科院文献信息情报中心中国科学技术信息研究所含万方数据电子出版社中国学术期刊光盘版电子杂志社送交本学位论文的复印件和电子文档允许论文被查阅和借阅可以采用影印缩印或其他复制手段保存和汇编学位论文可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索涉密论文口本学位论文属在年月解密后适用本规定非涉密论文口论文作者签名日期导师签名√日期微区压印法制作微透镜阵列扩散片研究中文摘要微区压印法制作微透镜阵列扩散片研究中文摘要近年来微光学领域的研究一直非常

3、活跃微透镜及其阵列作为一种非常典型和常用的微光学器件引起了人们广泛的兴趣它是光学系统微小化和集成化的基础在光计算光电显示光信息处理和光通讯等方面有许多重要应用微透镜阵列的制作方法也得到了深入的研究目前微透镜阵列的主要制备方法有光刻胶熔融灰度掩膜光刻热压模成形溶胶一凝胶等方法微纳米压印技术是近些年逐渐发展起来的微加工技术它以其高分辨率高效率低成本等特点被称为可能改变世界的十项技术之一"本文结合微纳米压印技术提出了一种制作微透镜阵列的新方法一微区压印法微区压印法通过小区域单元上的重复压印实现大幅面微透镜

4、的组合本论文首先阐述了微区压印原理然后设计制作了相应设备最后介绍了微区压印机系统工作原理及功能利用微区压印机系统制作了微透镜阵列详细介绍了微区压印机系统的制作微透镜阵列的工艺流程对压印材料准备压印模板制作压印参数优化等进行了实验和说明在完成微透镜阵列制作的基础上文章最后提出了一种新型的层叠微透镜阵列光扩散片在入射侧具有大口径低数值孔径微透镜阵列结构在出射侧具有小口径高数值孔径微透镜阵列结构分析了层叠结构对光线在视场内的扩散增益原理利用光线追迹法模拟了微透镜高度口径等结构参数对光学性能的影响模拟结果表

5、明正面亮度随出射侧微透镜高宽比增大而增加在入射侧增加一层高宽比在0．01"-O．15的低数值孔径微透镜阵列能够将正面亮度再提高3～5％实验测试结果表明其增益率可达44％微透镜阵列扩散片集成了传统背光模组中扩散片和棱镜片的功能具有重要应用前景关键词微透镜阵列微区压印系统层叠微透镜阵列扩散片亮度增益率作者t庄孝磊指导教师陈林森Thefabricationofmicrolensdiffuserarrayusingmicro·areamethodimprintAbstractInrecentresearch

6、yearstheofhasbeenandthemicro-opticsveryactiveMicrolensmicrolensaandcommondevicehasarousedarraysMLAsasverytypicalmicroopticalinterests．MLAswidespreadisthebasisofminiatureandintegratedopticalsystemsandhasinmanyimportantapplicationsopticalcomputingoptical

7、displayopticalinformationandcommunications．MLAsfabricationprocessingopticalmethodhasalsobeenaremanufacturedsuchasresistindepthstudytheremanytechniquesmeltingscalemaskhotmethodandmethod黟aybossingPhotoinducedcrossmethodsolgelisainlinkingpolymerization．Na

8、noimprintlithographygraduallydevelopedtechnologyrecenttheofandlowyears．Witllhasadvantagehighresolutionhighcostitefficiencyknownasoneofthetenthatcouldtheworld．Inthistechnologieschangepaperweanewmicrolensfabricationmethodsmicro-areapresen