毕业设计论文_硫系薄膜的制备

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1、编号：　　　本科毕业设计（论文）题目：基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究Researchpreparedbythermalevaporationoftheopticalpropertiesofchalcogenidethinfilms学院信息科学与工程专业多媒体信息处理班级电信071学号074100308姓　名冯江超指导教师张巍职称　讲师　　完成日期宁波大学信息学院本科毕业设计（论文）诚信承诺我谨在此承诺：本人所写的毕业论文《基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究》均系本人独立完成，没有抄袭行为，凡涉

2、及其他作者的观点和材料，均作了注释，若有不实，后果由本人承担。承诺人（签名）：冯江超年月日15宁波大学信息学院本科毕业设计（论文）摘　要【摘要】硫系薄膜是硫系玻璃材料光学器件向集成化、小型化发展的一个重要研究方向。本文介绍了硫系薄膜的发展与应用及常见的制备方法，并选择热蒸发方法制备了Ge-Sb-Se组分的硫系薄膜。并对所得薄膜进行结构和性能测试包括：薄膜的透过光谱（分光光度计），薄膜组分（xps），薄膜结构（拉曼光谱）和薄膜厚度（台阶仪）等参数。结果表明热蒸发法制备Ge-Sb-Se薄膜具有良好的物理结构和光学特性

3、，在集成光学器件方面很高的应用潜力。【关键词】硫系玻璃，硫系薄膜；热蒸发法，光学特性，。15宁波大学信息学院本科毕业设计（论文）Abstract【ABSTRACT】Chalcogenidethinfilmsofchalcogenideglassopticaldevicestotheintegration,miniaturizationisanimportantresearchdirection.Thisarticledescribesseveralchalcogenideopticalpropertiesofam

4、orphousfilms,learningthepreparationmethodsofChalcogenideglassandComparetheiradvantagesanddisadvantages,accordingtothelaboratoryexistingconditionspreparationthechalcogenidethinfilmsinthermalevaporationmethod.Throughtheexplorationoffilm-formingconditions,develo

5、pedapreliminaryprocessparameterstestedbyX-rayphotoelectronspectroscopyofthecompositionobtainedthedifferentbetweenfilmandtargetblock.Measuredbyspectrophotometerthroughthespectrumfromthefilm,Calculatethenonlinearrefractiveindex,nonlinearabsorptioncoefficientand

6、filmthicknessandotherparameters.TheresultsshowthatthethermalevaporationpreparationofGe-Sb-Sethinfilmswithgoodphysicalstructureandopticalproperties,highapplicationpotentialintermsofIntegratedopticaldevices.【KEYWORDS】Chalcogenideglass,Chalcogenidethinfilms,Ther

7、malevaporation,Opticalproperties.15宁波大学信息学院本科毕业设计（论文）目　录摘　要IIAbstractIII目　录IV1绪论11.1硫系薄膜简介11.2硫系薄膜的性质21.2.1非线性品质因数（FOM）21.2.2非线性光学特性21.2.3光敏性31.2.4光致暗化效应31.2.5光致漂白效应41.2.6光致结晶效应51.2.7能量带隙51.3硫系薄膜的应用61.3.1全息记录61.3.2光学器件71.3.3波长转换器71.3.4太阳能电池82Ge-Sb-Se薄膜制备方法82.

8、1薄膜制备的常见方法82.1.1磁控溅射法（RF）82.1.2化学气相沉积法（CVD）92.1.3溶胶凝胶法（Sol-Gel）102.1.4脉冲激光沉积法（PLD）102.1.5热蒸发法（TE）112.1.6各种制备方法的优缺点比较122.2热蒸发步骤132.2.1靶材的制备：硫系玻璃的制备132.2.2薄膜制备143Ge-Sb-Se薄膜性能测试、分析163.1组分分析1