@无接触法测量多晶硅材料的少子扩散长度

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1、本文由m08p7bfxky贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。第１卷２第４期　固体电子学研究与进展　ＲＥＥＳＡＲＣＨ＆ＰＲＯＧＲＥＳＯＦＳＥＳ　　Ｓ　ＶｏＩ２．Ｎｏ．４．１　ｉ９９２年１月１　Ｎｏｖ．．１９９２　‘暑ｌ州。　　＠无接触法测量多晶硅材料的少子扩散长度　３—　ｂ３　褚幼令①王宗欣＠　（旦学ｊ　电　复大　亘辱孚丽海，０３２４）０３　１９年１月２日收到　９１２１提蔓用微波光电导谱仪无接触、破坏性地测量了多晶硅的微波光电导谱，非推导了由光电导　谱计算多

2、晶硅样品的步子扩散长度和表面复合速度的计算方法，由此算得了样品的步子扩散长　并度和表面复台速度。测试区域是一个直径为３ｍｍ的圆斑。是一种简便而又准确的测试方法。　这这样　的方法还适用于Ｇａｓ薄片材料少子扩散长度的测量和计算。Ａ　关键调ｔ昌硅多，一扩散长度一Ｉ　少数赣澶子Ｉ——微波光电导谱一　无接触　Ｍｅｓｒｎ　ｉｕｉｎＬｅｇｈｏ　ｉｒｔ　ｒｉｒａｕｉｇＤｆｓｏ　ｎｔ　ｆＭｎｏｉＣａｒｅ　ｙｉＰｏｌｉｉｏｎ　ｎ　ｙｓｌｃｂｙ　ｉ　ＵｓｎｇＣｏｎｔｔｅｓＭｅｈｏ　ａｃｌｓ　ｔｄＣｈｕＹｏｌｎ　ｕｉｇ￣，ＷｎｇＺｏ

3、ｇｘｎａ　ｎｉ￣　（＇８８／￣／　ｈｃ．ａｄ￣ｅ￣ｏｉ　０　ｎ１ｃｒａｃ．　．　０，Ｕｉ．鼢ｎｔ｝　ｔ０４３　，２０３）Ａｂｔｃ：ｈ　ｃｏｖ　ｈｔｃｎｕｔｉ　ｐｃ￣ｍ（ｓｒｔＴｅｍｉｒｗａｅｐｏｏｏｄｅｉｔｓｅｔｕａｖｙ＇ＭＰＣＳｏ　ｏｙｉｃｎｈｓｂｅ　）ｆｐｌｓｉｏ　ａ　ｅｎｌｍｅｓｒｄｏｔｃｌｓｌａｎ　ｏｄｓｚｔｖｅｙ．Ｔｈｅｃｌｕｌｉｇｍｅｈｄｆｍｉｏｒ　ａｒｅ　ａｕｅ　ｃｎａｔｅｓｙ　ｄｎｎ－ｅｔｕｃｉｌ　ａｃａｔｎ　ｔｏ　ｏ　ｎＲｙｃｒｉｒｄｆｕｉｎｌｎｈａｎ　ｌ＇ａｅｒｃｍｂｎｔｏｎｖｅｏｉｙｆｏ

4、ＭＰＣＳ　ｆｐｌｓｌｏ　ａ　ｌｏ　ｅｎｉｆｓｏ　ｅｇｔ　ｄＳｌｆｃ　ｅｏｌｌｉａｉ　ｌｃｔ　ｒｍ　ｏ　ｏｙｉｃｎｈｓａｓｂｅ　ｉｄｒｖｄ．Ｔｈｅｃｌｕａｎ　ｅｕｔ　ｆｓｅｓｐｅ　ｒ　ｒｓｎｅ．Ｔｈ　ｅｔａｅ　ｓａｃｒｕａ　ｅｉｅ　ａｃｌｔｇｒｓｌｓｏ　ｏｍ　ａｍｌｓａｅｐｅｅｔｄｉｅｔｓ　ｒａｉ　　ｉｃｌｒｓｏ　ｂｕｔ３ｍｍｉ　ｉｍｅｅ．Ｔｈｓｉ　　ｉｐｅａ　ｒｃｓｍｅｏ．Ｉ　ａ　ｌｏ　ｅｕｅｔ　ｐｔａｏ　ｎｄａｔｒＬｓａｓｍｌ　ｎｄｐｅｉｅｈｔｄｔｃｎａｓｂ　ｓｄｏｍｅｕｅａｄｃｃｌｔ　ｅｍｉｒｔｃｒｉｒｍ

5、ｆｕｓｏ　ｅｇｔ　ｆＧａ　ｆｒ　ａｓｒ　ｎ　ａｌｕａｅｔ　ｎｏｉｈｙ　ａｒｅ　ｆｉｎｌｎｈｏ　Ａｓｗａｅ．Ｋｅ　０ｙＷ　：Ｐｏｌｓｌｃｎ，ＤｉｆｓｏＬｎｇ，Ｍｔｒｔ　ｒｉｒｔｃｏａｅ，Ｐｈｔｃｎ－ｙｉｉｏｆｕｉｎ　ｅｔｈｎｏｉｙＣａｒｅ，］ｒｗｖ＆ｉｏｏｏ　ｄｔｖｔＳｐｃｒｕｃｌｌｙ　ｅｔｕｍ，Ｃｏｎ￣．ｔｅｃｌｍ　半导体太阳能电池的换能效率、半导体探涮器的探测率以及发光管的发光效率都和材料　的少子扩散长度有关。论和实践表明，阳能电池的短路电流密度与步子扩散长度有关。理太过　短的少子扩散长度意味着在电池内部深

6、处产生的载流子对在到达结之前已被复合，以结深　所受到少子扩散长度的制约。太薄的样品又使硅对红光波长的吸收变差。以，提高太阳能　但所为电池的换能效率，材料中的少子扩散长度是一个重要参数。由于多晶硅是一种制造太阳能电池　的廉价材料，要保证有大于ｌ　的效率，了控制它的杂质含量以外，应控制它的晶粒大　而Ｏ除还小，为过小的晶粒使单位面积硅片中总的晶粒边界加长，而使光生载流子在边界处的复合　因从增加，导致换能效率的降低。以，所少子扩散长度也是衡量多晶硅制造工艺质量的一个重要参　－罾辜白拣科学基金资助项目。　固体电子学研究

7、与进展　ｌ２卷　数。　本工作用微波光电导谱仪无接触测试了多晶硅的微波光电导谱。由于多晶硅的少子扩散　长度比单晶硅要短得多，文献［］谱的峰值位置，后，图表中求少子扩散长度的方法误　用１取然从差较大，因此，对多晶硅（类似的样品，ＧＡ等）导了另一种计算方法。针及如ａｓ推实验及计算结　果表明，这种方法比较合理。由于采用了无接触法，样品的表面质量无要求，又对因此，测量　在前对表面不必进行特定处理　测试面积仅是直径３１ｒ的圆斑，品又可以在测试台上自由　因　ＩｉＴＥ样移动，因此，本方法可以测量同一样品上各区域少子扩散长度的

8、差异。　二、测试方法　若样品是ｎ的多晶硅片，图１型如所示，当它受到一束单色光和微波同时照射时，样品内在　都由于吸收了光子能量而产生新的电子一穴对，达到动态平衡后，品内部的非平衡载流　空在样子浓度分布却（）足一维稳态扩散方程；　满　（ＤｄＡ　ｚ，２￣）—一生生；一叼（一ｒ，－（）　１）ｔ　１ｉｅ　ｂ　ｔｔ－ｉ　＝其中Ｉ是入射光强，量子效率，样品表　ｏ日是　是面的光反射系数，－少子扩散系数，ｂ少　Ｄ是＂