有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究_骆杨

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1、------------------------------------------------------------------------------------------------有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究_骆杨DOI:10.16136/j.joel.2014.05.015第２５卷光电子·激光第５期　２·Ｌ０１４年５月ｏｌ．２５Ｎｏ．５　Ｍａ２０１４ｙ　ＶＪｏｕｒｎａｌｏｆＯｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｓｅｒ　　ｐ有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究２，李天骄３，段　羽１＊骆　杨１，（；吉林大

2、学电子科学与工程学院，集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林长春１１．３００１２；中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春１吉林大学汽车工程学院，吉林长春２．３００３３３．）１３００２２摘要：针对有机电致发光器件（在空气中水汽和Ｏ提出一种对ＯＬＥＤ）２作用下寿命下降的问题，ＯＬＥＤ进行薄膜封装方法。封装薄膜由电子束蒸镀ＡｌＡＬＤ，ａｔｏｍｉｃｌａｅｒ　ｙ２Ｏ３薄膜和原子层沉积（）ｄｅｏｓｉｔｉｏｎＡｌａ薄膜电学测试方法测定封装薄膜的水汽透过率ｐ２Ｏ３薄膜相结合形成。利用Ｃ（。具体实现方法是，采用玻璃

3、作为衬底，在１然ＷＶＴＲ）００ｎｍ的Ａｌ电极上蒸镀２００ｎｍ的Ｃａ膜，——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------只留出Ａ采用电子束后对整个系统进行薄膜封装，ｌ电极的一部分作为探针接触电极。实验发现，蒸镀结合ＡＬＤ的ＡｌＣａ薄膜变成透明的时间比未封装或采用单一结构封装得到了延２Ｏ３薄膜封装，／Ｍ／长

4、。为了检验薄膜封装效果，制作了一组绿光Ｏ器件结构为ＩＬＥＤ，ＴＯｏＯＸ（５ｎｍ）ｍＭＴＤＡＴＡ（／／／／，实验结果表明，本文提出的薄膜封装方法对器２０ｎｍ）ＮＰＢ（３０ｎｍ）Ａｌ５０ｎｍ）ＬｉＦ（１ｎｍ）Ａｌｑ３（器件的寿命得到了延长。件进行封装，；原子层沉积（关键词：薄膜封装；水汽透过率（ＷＶＴＲ）ＡＬＤ）；（）中图分类号：ＴＮ３８３１１ＴＮ８７３１３Ａ　　文章编号：１００５００８６２０１４０５０８４００５　　文献标识码：－－－Ａｎｅｗｔｈｉｎｆｉｌｍｅｎｃａｓｕｌａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｆｏｒｏｒａｎｉｃｌｉｈｔ

5、ｅｍｉｔｔｉｎ　　－　－ｐｇｙｇｇｇ　ｄｅｖｉｃｅｓ１２３１＊，ｉａｏＬＵＯＹａｎＬＩＴｉａｎＤＵＡＮ　Ｙｕ　　－ｊｇ，，（，，１．ＳｔａｔｅＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｎＩｎｔｅｒ——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------ａｔｅｄＯｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＣｏｌｌｅｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉ

6、ｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎＪｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒ－ｙｙｇｐｇｇｇ　　，，；，，ｓｉｔＣｈａｎｃｈｕｎ１３００１２Ｃｈｉｎａ２．ＣｈａｎｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｔｉｃｓＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｓｉｃｓＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｏｆ　　ｙｇｇｐｙｙ　，，；３，，ＳｃｉｅｎｃｅｓＣｈａｎｃｈｕｎ１３００３３Ｃｈｉｎａ．ＣｏｌｌｅｅｏｆＡｕｔｏｍｏｔｉｖｅＥｎｉｎｅｅｒｉｎＣｈａｎｃｈｕｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔＣｈａｎｃｈｕｎ　　ｇｇｇｇｇｙｇ，）１３００２２Ｃｈｉｎａ：）ＡｂｓｔｒａｃｔＥｎｃａｓｕｌａ

7、ｔｉｏｎｉｓｉｍｏｒｔａｎｔｆｏｒｏｒａｎｉｃｌｉｈｔｅｍｉｔｔｉｎｄｅｖｉｃｅｓ（ＯＬＥＤｓｔｏｏｘｉｄａｔｉｏｎｏｆｒｅｖｅｎｔ　　－ｐｐｇｇｇｐ　，ｌｉｈｔｅｍｉｔｔｉｎｍａｔｅｒｉａｌｓａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓｂｂｌｏｃｋｉｎｗａｔｅｒｖａｏｒａｎｄｏｘｅｎａｎｄｔｏｒｏｔｅｃｔｄｅｖｉｃｅｓｆｒｏｍ－——————————————————————————————————————-------------------------------------------------------------------

8、-----------------------------　ｇｇｙｇｐｙｇｐｅｘｔｅｒｎａｌｓｈｏｃｋｓ．Ａｎｅｗｔｈｉｎｆｉｌｍｅｎｃａｓｕｌａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｉｓｒｏｏｓｅｄｉｎｔｈｉｓｗｏｒｋ．Ｔｈｅｆｉｌｍｉｓｆｏｒｍｅｄｂｅ－　　－ｐｐｐｙ　ｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｅｖａｏｒａｔｉｏｎ（Ａｌｉｌｍ）ｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉ