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《沉积速率对硅基linbo_光波导薄膜特性的影响》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------沉积速率对硅基LiNbO_3光波导薄膜特性的影响光电子??激光第19卷第11期??2008年11月??????????JournalofOptoelectronics??Laser??????????????Vol.19No.11??Nov.2008沉积速率对硅基LiNbO3光波导薄膜特性的影响王新昌1****,叶志
2、镇,赵炳辉22(1.郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州,450052;2.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027)摘要:利用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3晶体薄膜,研究了激光脉冲频率即薄膜沉积速率对薄膜结晶质量及取向性的影响,发现激光脉冲频率对薄膜的c轴取向性基本没有影响,但对薄膜的结晶质量影响较大,激光脉冲频率为3Hz时获得了高结晶质量的c轴取向LiNbO3晶体薄膜。XPS测试表明制得薄膜的组分符合等化学计量比,AFM测试显示制备的薄膜表
3、面光滑,表面粗糙度为4.3nm。棱镜耦合法测试表明制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------能,光传输损耗为1.14dB/cm。关键词:脉冲激光沉积法(PLD);LiNbO3薄膜;光波导;沉积速率;SiO2/Si衬底中图分类号:O484.4??
4、??文献标识码:A????文章编号:1005??0086(2008)11??1486??04EffectofgrowthrateonthecharacteristicsofLiNbO3waveguidethinfilmsonSiO2/SisubstratebyPLDWANGXin??chang1**,YEZhi??zhen2,ZHAOBing??hui2(1.KeyLaboratoryofMaterialPhysics,andDepartmentofPhysics,ZhengzhouUniveristy,
5、Zhengzhou450052,Chi??na;2.StateKeyLaboratoryofSiliconMaterials,ZhejiangUniversity,Hangzhou,310027,China)——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------Abstract:Highlyc?
6、?axisorientedLiNbO3thinfilmsaregrownonSiO2/Sisubstratesbythepulsedlaserdeposition.Theeffectsofdepostionrateonthegrowthofthefilmtextureandcrystallinityaresystematicallyinvestigated.ThedepositionrateofLiNbO3thinfilmsiscontrolledwithfrequencyofpulsedlaser.Th
7、eresultsshowthatthelaserfrequencycanstronglyinfluencedthecrystallographicqualityofLiNbO3films,butcannotinfluencedc??axisorientationofLiNbO3films.TheXPSmeasurementshowsthattheachievedfilmisstoichiometry.TheAFMmeasurementshowsthatthefilmhassmoothsurface.The
8、RMSroughnessofthefilmsurfacewas4.3nm.GoodopticalvaveguidepropertiesofLiNbO3filmsareobservedbyu??singoftheprismcoupledmethod.TheopticalpropagationlossofLiNbO3filmsat3Hzis1.14dB/cm.Keywords:pulsedlaserdeposition;LiNbO
