bll-900g宝来利按钮开关说明

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1、BLL-900G真空镀膜机使用说明丹阳市宝来利真空机电有限公9目录1.主要用途及使用范围2.主要规格及技术参数3.结构概述4.安装与测试5.使用与操作规程6.安全与维护91.主要用途及使用范围BLL-900G型真空镀膜机由主机、控电柜,枪电源等部分组成。真空室采用不锈钢制造，外壁有不锈钢冷却水管。主机抽气系统后置便于拆装和维修。具有抽气时间短，工作真空度高，重复生产周期短，工作稳定等优点。本设备适用于镀制各种光学簿膜和电学膜的多用途设备。如宽窄带滤光片、析光膜、高反膜，增透膜等。是有关工厂、大专院校和研究所进行批量生产和科研的理想设备。2.主要规格及技术参数2.1

2、真空室尺寸：φ900×1000㎜2.2极限压力：≤3×10-4pa2．3恢复真空抽气时间：从1×105pa至3×10-3pa≤15min2.4工件旋转：上旋转公自转，公转速度0~30转可调。2.5工件烘烤1;3组4X1KW碘钨灯下加温。工件烘烤2;3组3PX3KW碘钨灯下加温。2.6φ120霍尔离子源2.7电子束蒸发源：双枪头单电源10KW电子枪2.8抽气系统2.10.12X-15机械泵抽速15升/秒92.10.22X-70机械泵抽速70升/秒2.10.3ZJP-300罗茨泵抽速300升/秒2.10.4KT-600扩散泵抽速14000升/秒2.9冷却水压：0.15

3、~0.25Mpa2.10气压:0.5~0.6Mpa2.11总功率:40KW3.结构概述1.真空室采用前开门，门上有三个观察窗，观察窗是12㎜厚钢化玻璃，外配防辐射玻璃。真空室底板上左右安装电子枪2只及引入电子枪高低压导线接柱共4只、2套挡板机构、碘钨灯导线接柱共6只、工件旋转从顶部引入，内壁配保护板2套。2.真空系统由扩散泵（D/P）、水冷阱、粗抽阀（R/V）、高抽阀（H/V）、主抽阀（M/V）、进气阀（V/V）、2x-15维持泵（V/P）、2x-70机械泵（R/P）、ZJ-300罗茨泵（M/P）以及真空管道组成，可手动或自动操作。3.进气阀与主抽阀、粗抽阀互锁，

4、粗抽阀与高抽阀互锁。以防止误操作。94.电控柜操作有自动（AUTO）和手动（MANU）两种方式。具有水压（W/P）、气压（A/P）声光报警及保护功能。4.安装与测试4.1将设备安装在工作位置上，机械泵（R/P）和罗茨泵（M/P）安装在主机的后方，控电柜安放在主机右侧。4.2连接好各管道，并保证连接处真空密封性。4.3按电气原理图，将主机与控电柜接好，并将所有电气开关处于关闭状态。4.4用无水乙醇清洗真空室，拆下真空室顶部规管封头，换上热电偶和开封的电离规管。4.5接通电源4.6接通冷却水源4.7接通气源4.8合上控电柜总开关，按下ON开机键。4.9按以下步骤进行调

5、试（手动操作方式）4.9.1按下V/P键（维持泵），前级真空度稳定后，按下D/P键开扩散泵加热电源，待60min9后扩散泵进入工作状态；按下R/P键（机械泵），按下R/V键（粗抽阀）抽真空室待压力达到5000帕后，按下M/P键（罗茨泵）使真空室压力达到5帕以后，关R/V键（粗抽阀），按下H/V键（高抽阀）、按下M/V键（主抽阀）对真空室抽真空使压力达到5*10-4帕，极限真空试验完成（在24小时内完成）4.9.2恢复真空试验（接上步骤），关M/V（主抽阀），关M/P（罗茨泵），关R/P（机械泵）；开V/V（进气阀），让真空室充气完毕后关V/V（进气阀）；真空室暴露

6、大气后可关门进行恢复真空试验。开R/P（机械泵）开始记时，开R/V（粗抽阀）抽真空室待压力达到5000帕后，开M/P（罗茨泵）使真空室压力达到5帕以后，关R/V（粗抽阀），开H/V（高抽阀）、开M/V（主抽阀）对真空室抽真空使压力至3*10-3帕，抽气时间≤20min即恢复真空试验成功完成。5.使用与操作规程5.1接通水源气源电源5.2按下开机键（ON），开维持泵（V/P），前级真空度稳定后，开（D/P）扩散泵加热电源，待60min后（D/P）扩散泵进入工作状态。5.3开（V/V）进气阀，让真空室充气完毕后关（V/V）进气阀。95.4打开真空室门，放入已清洁的被镀

7、工件，在电子枪坩埚上加入镀膜材料，关上真空室门。5.5开（R/P）机械泵，开(R/V)粗抽阀抽真空室待压力达到5000帕后，开(M/P)罗茨泵，同时开工件转动并调整转速，并打开碘钨灯加温，真空室压力达到5帕以后，关(R/V)粗抽阀，开(H/V)高抽阀、开(M/V)主抽阀对真空室抽真空；。5．6当真空室压力达到5×10-3pa真空度时，开压强仪的控制开关给真空室充氩气，打开离子源清洗被镀工件，一般当真空退至1×10-2pa左右时可打开电子枪蒸镀：开扫描电源、开灯丝电源、开高压，操作手控合挡板使挡板置于蒸发源上方，选择好电子枪坩埚缓慢旋转手控合电位器，调节束流予熔膜料

8、，予熔后打