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时间：2017-11-12
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1、１００７３０１班饶倩蓝现代ＸＰＳ分析技术基本原理现代应用方法总结基本原理ＸＰＳ（Ｘ射线光电子能谱）是利用软Ｘ射线激发样品的电子能谱，主要应用于样品表面元素和其价态分析。其工作原理如图１。XPS分析技术特点优点：XPS不破坏样品。灵敏度高。化学位移明确。可同时提供元素定量定性及化学态信息。缺点：只能对十几mm^2的大面积分析，提供大面积内平均信息。激发光源均为非单色化X光，分辨率不高。现代XPS分析技术单色化XPS（MonoXPS）小面积XPS(SAXPS)成像XPS（iXPS）1.单色化XPS和SAXPS以前的单色化XPS单纯采用晶体（如石
2、英晶体）单色化光源，SAXPS简单采用光阑限定实现小面积分析。现代采用先进的铝靶微聚焦单色器，可同时实现单色化XPS和SAXPS功能。新型MonoSAXPS典型技术参数：最佳空间分辨率15微米，最大分析区域400微米，最佳分辨率0.47eV,常规的XPS极限分辨率只有0.8eV。整体灵敏度大大提高，样品定位准确。1.1腐蚀科学中钢板上锈蚀半点检测1.2微电子技术中半导体集成芯片分析1.3有机物种绝缘体PEFT的分析2.成像XPS（iXPS）成像iXPS主要有三种：--平行成像法不需逐点扫描，速度快，信噪比高。最佳空间分辨率能达1微米。--X
3、射线束扫描法--光电子扫描法2.1硅寄存器IXPS分析2.2聚酯（PET）膜表面的碳纤维iXPS分析结束语本文只简单介绍现代能谱仪三个主要功能和应用，其实与传统的能谱仪想比，现代Ｘ光电子能谱仪在功能、性能、使用维护、数据系统等方面有了很大的发展，相信随着科技发展，将来ＸＰＳ能更齐全、性能更优越。ThankYou
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