国家标准硅多晶气氛区熔基磷检验方法

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1、国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》（送审稿）编制说明一、工作简况1、任务来源根据《国家标准委关于下达2015年第三批国家标准修订计划的通知》（国标委综合[2015]73号）的要求，由峨嵋半导体材料研究所负责修订《硅多晶真空区熔基硼检验方法》，计划编号20153657-T-469。2016年峨嵋半导体材料研究所所属东方电气集团决议全面退出多晶硅领域，峨嵋半导体材料研究所的多晶硅生产及研发也全部停滞，不再具备继续主持修订该标准的条件，因此放弃关于该标准的修订工作。经企业申请、标委会批准后，由江苏中能硅业科技发展有限公司继续负责该标准修订工作。2、标准承担单位简况江苏中能硅业科技发展有限公

2、司（下称“中能硅业”）为目前世界上单体投资规模最大的高纯多晶硅研发与制造基地，系香港上市公司保利协鑫能源控股有限公司（HK3800）全资控股的子公司。中能硅业研发团队独创了国际领先、具有自主知识产权的GCL法多晶硅超大规模清洁生产技术（简称“GCL法”）。该工艺法不仅极大地降低生产成本，而且实现多晶硅的清洁生产、绿色制造，完全零排放，总体技术水平达国际先进。在借鉴国外高端技术的同时，中能硅业主张走自主研发的科技创新之路。截至目前，公司已申请专利90余项，其中获授权68项；正在推进的国家、省级课题以及内部研发课题10多项。同时，公司2010年起全力推进硅烷流化床法制备多晶硅技术（简称“硅烷

3、法”）的自主研发，2014年底建成万吨级硅烷生产线，2015年建成目前全球单台产能最大的流化床反应器装置。这一技术的突破和应用，不仅填补了国内硅烷法技术的空白，更夯实了中能硅业在世界硅材料制造领域的领先地位。公司全力推进硅烷法颗粒硅项目的量产，将生产成本向8美元/公斤的全球新低水平逼近，助推早日实现光伏发电平价上网，让老百姓用得起太阳能电力的目标实现。3、主要工作过程标准工作组首先对原标准认真研究，并结合该行业应用此方法对多晶硅进行区熔分析检测的实际情况，经工作组全体人员的努力，于2016年9月完成了《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》讨论稿。2016年9月8日，《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》

4、国家标准第一次工作会议（讨论会）在新疆维吾尔自治区昌吉市召开，参会有中国电子技术标准化第7页共7页研究院、北京有色金属研究总院、江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科科技有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司等24个单位36名专家。经与会专家们充分讨论后，取得了讨论稿的修改共识及意见，标准工作组据此对讨论稿进行了修改，于2016年10月完成了《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》（征求意见稿），并广泛发函征求意见，具体见意见汇总表。标准工作组并根据征求的意见对标准进行了修改和完善，形成了预审稿。2017年4月12日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在广东省深圳市召

5、开《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》标准第二次工作会议（预审会），共有有研半导体材料有限公司、新特能源、洛阳中硅等21个单位31位专家参加了本次会议。与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论,标准工作组据此对预审稿进行了修改，并于2017年7月20日完成了《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》（送审稿）。2017年10月26日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在广东省东莞市召开《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》标准审定会，共有洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司等8个单位13位专家参加了本次会议。经与会专家们充分讨论后，一致通过了本标准的审定。编制组根据专家意

6、见对标准进行修改后，形成了报批稿，现上报国家标准化管理委员会审批。二、标准编制原则和确定标准主要内容的依据1、编制原则本标准按照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》的规定编写。本标准参考GB/T29057《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》标准并考虑我国采用相应的分析设备进行区熔、拉晶分析的实际情况起草。2、确定标准主要内容的依据本标准代替GB/T4059-2007《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》。本标准与GB/T4059-2007相比，主要有以下变动：1、在规范性引用文件增加了GB/T620-2011、GB/T626-2006、GB/T4842-

7、2006、GB/T8979-2008、GB/T11446.1-2013、GB/T25915.1-2010、GB/T29057-2012（见2）；2、将方法提要中方法A“采用气氛（氩气或氢气）区熔法……在适当位置取样用低温红外光谱法测得其中的基磷含量”修改为“采用氩气气氛区熔法……在单晶锭8倍熔区处取样，采用GB/T29057-2012低温红外光谱法或采用GB/T24574-2009光致发光光谱法测得其基磷含量”（见4.1,2007版