纳米SiC薄膜的光电特性毕业论文.doc

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1、目录纳米SiC薄膜的光电特性研究毕业论文目录第1章绪论…………………………………………………………………………11.1研究目的和意义………………………………………………………………………11.2SiC材料的结构和性质…………………………………………………………31.3低维SiC材料合成以及其光学和电学特性的研究进展……………………………51.3.1纳米碳化硅薄膜的制备进展…………………………………………………51.3.2纳米碳化硅薄膜的发光研究进展……………………………………………61.3.3纳米碳化硅薄膜的电学特性和光电器件研究进展…………………………71.4

2、当前主要存在问题和本文主要工作…………………………………………………8第2章实验原理及技术………………………………………………………………102.1样品的制备…………………………………………………………………………102.2薄膜的形貌和结构分析技术………………………………………………………102.2.1傅里叶变换红外吸收谱（FTIR）……………………………………………102.2.2X射线的衍射分析（XRD）…………………………………………………112.2.3原子力显微镜（AFM）………………………………………………………112.2.4扫描电子显微镜（SEM）……

3、………………………………………………122.3薄膜的光学特性表征技术……………………………………………………………122.3.1紫外－可见光透射谱(UV-VISTransmission)……………………………122.3.2光致发光谱(PL)和荧光激发谱（PLE）……………………………………132.4薄膜的电学、光电特性表征技术……………………………………………………132.4.1薄膜电阻率和异质结的I-V特性的测量…………………………………132.4.2异质结的表面光电压测量…………………………………………………15第3章纳米碳化硅薄膜的制备及紫外发光特性………

4、…………………………………18I目录3.1不同氢气条件下纳米碳化硅薄膜的结构特性………………………………………193.2纳米碳化硅的紫外发光………………………………………………………………223.3本章小结………………………………………………………………………………23第4章掺杂纳米碳化硅的光学和电学特性……………………………………………244.1磷掺杂对纳米SiC结构的影响………………………………………………………244.1.1不同比例掺杂的红外谱分析………………………………………………254.1.2掺杂纳米碳化硅薄膜的Raman谱……………………………………

5、……264.1.3掺杂纳米SiC的表面形貌…………………………………………………274.2掺杂纳米SiC薄膜的光学特性……………………………………………………284.2.1掺杂纳米碳化硅的光吸收特性……………………………………………284.2.2掺杂纳米碳化硅薄膜的光致发光特性……………………………………304.3掺杂纳米SiC薄膜的电学特性……………………………………………………314.3.1电导率测量的方法和结构…………………………………………………314.3.2SiC的欧姆接触……………………………………………………………324.3.3不同掺杂比例的SiC

6、薄膜的电导率………………………………………324.3.4掺杂纳米SiC薄膜的导电机制……………………………………………334.4掺杂纳米碳化硅/硅异质结的电学特性……………………………………………364.4.1n-pnc-SiC/Si异质结的I-V特性…………………………………………374.4.2nc-SiC/Si异质结的电输运特性…………………………………………384.5本章小结………………………………………………………………………………41第5章纳米碳化硅/硅异质结的光电压特性……………………………………………425.1光照作用下p-n结能带结构的变化………

7、…………………………………………425.2nc-SiC/Si异质结的表面光电压特性………………………………………………435.2.1SiC在异质结中的窗口效应………………………………………………435.2.2不同偏压下nc-SiC/Si异质结中的光电压特性…………………………445.3nc-SiC/Si异质结的时间分辨光电压特性……………………………………465.4本章小结…………………………………………………………………………49结束语………………………………………………………………………………………51I目录参考文献………………………………………………………

8、……………………………5