汽车板镀铜铜厚均匀性改善总结

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1、1ME技術報告書文件編號:檔傳送和檔做成.審核.批准收件1#PLAT,1#維修部,QA,QAE,PMC,采購作成張飾成30.Sep.07抄送高生,鄧生,相關經理/副經理審核FAX批准檔核心內容描述技術專案汽車板高低電位銅厚均勻性改善總結目標指標改善汽車板鍍銅銅厚均勻性,使電鍍銅厚不夠問題率為0現況描述現狀:我司汽車板目前都安排在1#厂5#P-Tin線生產,而孔銅要求35um汽車板銅厚要求較厚,電流偏大時,容易發生夾膜Short問題,為解決此問題,ME將35um汽車板生產電流都控制在下限,而此措施導致35um汽車板時有孔銅偏薄問題發生﹐為改善

2、此問題,需對5#P-Tin線鍍銅銅厚均勻性進行一系列評估及改善.技術點:評估不同因素對銅厚均勻性的影響,以確定最佳改善方案.QDC變化量:Q:汽車板銅厚偏薄報廢率為0D:鍍銅均勻性提高20%C:成本增加約40*7*300=84000元註:5#PTIN線共40條飛巴,每條增加7個夾仔,每個約300元試驗方案●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●<試驗方案一>評估陽極排列方式對鍍銅均勻性的影響,具體方案如下﹕對5#PTIN線29#-2銅缸陽極排列方式進行改變﹐使銅缸兩邊的陽極排列較分散﹐而中間陽極排列緊密﹐排列如下圖﹕而29

3、#-1銅缸陽極排列方式不變,排列如下圖﹕●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●然後在同樣的電鍍條件下用光銅板進行試板取數分析﹐以確定改善效果。<試驗方案二>評估電鍍板時所夾夾仔數對鍍銅均勻性的影響﹐具體方案如下﹕1.用光銅板在同一飛巴上評估夾兩個夾仔與夾三個夾仔鍍銅均勻性狀況﹐試板掛板圖及夾仔夾點圖:如下圖﹕試板掛板圖及夾仔夾點圖:●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●E:file-serverfs_tmpdownload43bd705e33f7fb952e4663b636dbacf8.doc試驗方案2.用3

4、5um汽車板DH-7459在同一條飛巴生產時﹐評估夾板夾仔數對銅厚均勻性影響﹔2-1.用27-1#飛巴生產DH-7459﹐使該飛巴生產板一些板夾兩個夾仔﹐另一些板夾三個夾仔﹐蝕刻後取數分析銅厚分佈狀況﹔2.2.用同一飛巴27-1#生產同lot號DH-7459,使該飛巴板全部夾三個夾仔﹐蝕刻後取數分析銅厚分佈狀況.<三>在方案二評估OK的基礎上,對5#PTIN取任一飛巴進行增加夾仔改裝,然后用汽車板及光銅試板進行對比評估.備注﹕掛板圖及夾仔夾點圖:參見上圖詳細的試驗方案列表如下:試板方案評估特點試板特點及數目電鍍條件評估方式取數方式數據分析1

5、原陽極排列尺寸18.25”×16.16”底銅H/HOZ光銅板(10塊)14ASF*50min鍍液控制條件同正常生産條件光銅板---鍍銅---鍍銅厚度檢測儀測量每塊板正反面取3*4共12個點偏差,平值偏差,COV對比2陽極排列改變尺寸18.25”×16.16”底銅H/HOZ光銅板(10塊)14ASF*50min鍍液控制條件同正常生産條件光銅板---鍍銅---鍍銅厚度檢測儀測量每塊板正反面取3*4共12個點偏差,平值偏差,COV對比3同一飛巴有夾兩個夾仔﹐有夾三個夾仔35um汽車板DH-7459(12塊)生產電流鍍液控制條件同正常生産條件鍍銅-

6、-蝕刻-鍍銅厚度檢測儀測量每塊板上中下測6個大孔孔銅偏差,平值偏差,COV對比4同一飛巴全部夾三個夾仔35um汽車板DH-7459(10塊)生產電流鍍銅--蝕刻-鍍銅厚度檢測儀測量每塊板上中下測6個大孔孔銅偏差,鍍液控制條件同正常生産條件平值偏差, COV對比5一條飛巴增加8個夾仔,另一條不變35um汽車板FH-7022(12塊)生產電流鍍液控制條件同正常生産條件鍍銅--蝕刻-鍍銅厚度檢測儀測量每塊板上中下測6個大孔孔銅偏差,平值偏差,COV對比6一條飛巴增加8個夾仔,另一條不變尺寸13.5”×19.5”底銅H/HOZ光銅板(12塊)16A

7、SF*75min鍍液控制條件同正常生産條件光銅板---鍍銅---鍍銅厚度檢測儀測量每塊板正反面取3*4共12個點偏差,平值偏差,COV對比E:file-serverfs_tmpdownload43bd705e33f7fb952e4663b636dbacf8.doc試驗結果及分析總結<一>按方案一進行試板1.原陽極排列試板得到以下正面銅厚分佈測試數據:1234567891039.432.833.535.132.334.733.733.136.539.134.134.933.131.733.728.829.428.329.129.529

8、.134.632.533.434.332.733.234.333.438.939.731.93334.331.434.134.132.835.537.233.33432.831.

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