7、用电子成像的衍射对比,做成明视野或暗视野影像,并配合衍射图案来进行观察[3]。原子力显微镜AFM(Atomic Force Microscope)也称扫描力显微镜,其工作原理如图所示[6]。一个对力非常敏感的微悬臂,其尖端有一个微小的探针,当探针接近样品表面时,由于原子间的相互作用力,使得装配探针的悬臂发生微弯曲,检测到微弯曲的情况,就知道表面与原子力之间的原子力大小。将微悬臂弯曲的信号的形变转换成光电信号并放大,就可以得到原子之间力的微弱变化信号。利用微悬臂间接地感受和放大原子之间的作用力,从而达到检测的目的。在探针沿表面扫描