电涡流传感器原理

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1、第六章机械量测量仪表主要内容6.1概述6.2电涡流式传感器6.3电容式位移检测方法6.4转速检测6.5振动检测6.6电感式传感器的典型应用6.1概述机械量通常包括各种几何量和力学量，如长度、位移、厚度、转矩、转速、振动和力等。本章主要讨论机组控制中常用的位移、振动和转速三种机械量的测量方法及测量仪表。机械量测量仪表一般由传感器、测量电路、显示(或记录)器和电源组成,如图6-1所示。图6-1机械量测量仪表框图测量电路包括变换、放大等，把传感器的输出信号转换成电信号；显示单元以模拟形式、数字形式，或以图像形式给出被测量的数值。机械量测量仪表可按测量对象和测量原理分

2、类。按测量对象可分为位移测量仪表、厚度测量仪表、转矩测量仪表等。按测量原理位移测量仪表可分为电容式、电感式、光电式、超声波式、射线式等。表6-1各种机械量检测参数可采用的测量原理这里讨论的是过程控制中大型转动设备(如汽轮机、压缩机等)轴的位移。汽轮机在启停和运行中，如果转子轴推力轴瓦已烧坏，则转子就要发生前后窜动，因而引起转子轴的轴向位移增大，使汽轮机内部动、静部件间发生摩擦和碰撞，导致大批叶片折断，隔板和叶轮碎裂，造成严重事故。因此，一般汽轮机都设置了轴向位移的监测和保护装置，电涡流传感器的检测探头与转子轴端面保持一定的初始距离。当汽轮机转子轴产生轴向位移时

3、，传感器的输出电压与轴向位移成比例。当位移值超过规定的允许值时，传感器的输出电压可控制报警电路发出报警信号。本章重点介绍广泛应用于大型转动设备(如汽轮机、压缩机等)轴位移、轴振动测量仪表—“电涡流式传感器”返回6.2电涡流式传感器电涡流式传感器属于电感式传感器的一种，是利用被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化，从而导致线圈电感量改变这一物理现象来实现测量的。6.2.1原理与特性如下图6-2所示，一个扁平线圈置于金属导体附近，当线圈中通有交变电流I1时，线圈周围就产生一个交变磁场H1。置于这一磁场中的金属导体就产生电涡流I2，电涡流也将产生一个新磁场H2，H

4、2与H1方向相反，因而抵消部分原磁场，使通电线圈的有效阻抗发生变化。图6-2电涡流传感器原理图一般讲，线圈的阻抗变化与导体的电导率、磁导率、几何形状，线圈的几何参数，激励电流频率以及线圈到被测导体间的距离有关。如果控制上述参数中的一个参数改变，而其余参恒定不变，则阻抗就成为这个变化参数的单值函数。如其他参数不变，阻抗的变化就可以反映线圈到被测金属导体间的距离大小变化。在电感式位移检测方法中最常见的是涡流式电感位移检测器，如图6-3所示是电涡流式传感器检测探头，探头端部装有高度密封的、发射高频信号的线圈。由于被测物体的端部（一般为转动机器的轴）距离线圈很近，仅有

5、几mm，线圈通电后产生一个高频磁场，轴的表面在磁场的作用下产生涡流电流。同样，涡流电流也会产生磁场，其场强大小与距离有关，该场强抵消由线圈产生的磁场强度，影响检测线圈的等效阻抗，而等效阻抗与线圈电感量有关，因此就测得位移量。图6-3涡流检测探头6.2.2高频反射式电涡流传感器这种传感器的结构很简单，主要由一个固定在框架上的扁平线圈组成。线圈可以粘贴在框架的端部，也可以绕在框架端部的槽内。图6-4为某种型号的高频反射式电涡流传感器。图6-4高频反射式电涡流传感器电涡流传感器的线圈与被测金属导体间是磁性耦合，电涡流传感器是利用这种耦合程度的变化来进行测量的。因此，

6、被测物体的物理性质，以及它的尺寸和开关都与总的测量装置特性有关。一般来说，被测物的电导率越高，传感器的灵敏度也越高。为了充分有效地利用电涡流效应，当被测物体是圆柱体时，被测导体直径必须为线圈直径的3.5倍以上，否则灵敏度要降低。6.2.3电涡流式传感器测量电路6.2.3.1电桥电路图6-5电桥法测量电路原理图电桥法是将传感器线圈的阻抗变化转化为电压或电流的变化。图6-5是电桥法的电原理图，图中线圈A和B为传感器线圈。传感器线圈的阻抗作为电桥的桥臂，起始状态，使电桥平衡。在进行测量时，由于传感器线圈的阻抗发生变化，使电桥失去平衡，将电桥不平衡造成的输出信号进行放

7、大并检波，就可得到与被测量成正比的输出。电桥法主要用于两个电涡流线圈组成的差动式传感器。6.2.3.2谐振法这种方法是将传感器线圈的等效电感的变化转换为电压或电流的变化。传感器线圈与电容并联组成LC并联谐振回路。并联谐振回路的谐振频率为:（6-1）且谐振时回路的等效阻抗最大，等于式中，R’为回路的等效损耗电阻。当电感L发生变化时，回路的等效阻抗和谐振频率都将随L的变化而变化，因此可以利用测量回路阻抗的方法或测量回路谐振频率的方法间接测出传感器的被测值。（6-2）调频式测量电路的原理是被测量变化引起传感器线圈电感的变化，而电感的变化导致振荡频率发生变化，频率变化

8、间接反映了被测量的变化。见图6-7电涡