西安交通大学非电量电测课件第1章电容式传感器

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1、第五章电容式传感器1.结构简单,没有活动触点,工作可靠,寿命长。2.灵敏度和分辨率高。传感器输出信号强,有利于信号传输。3.重复性好,线性度好。4.能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。主要特点:5.1工作原理与结构一.基本原理二.结构1.变间隙式2.变面积式3.变介电常数式5.2特性一.变间隙式由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。(非线性关系)当很小时,高次相可以忽略不计,输入与输出的关系近似为线性,由此带来的误差为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。更重要的是可将级数

2、中的二次相抵消而使线性度提高。传感器的灵敏度:可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。二.变面积式输入和输出呈线性关系两极板间的电容传感器的灵敏度三.变介电常数式1.(线性关系)2.(非线性关系)3.(线性关系)5.3测量电路交流电桥单臂时:而输出电压与电容C成反比但如果传感器为变间隙式电容传感器输出与被测位移成正比差动电容时(半桥)其中2.变压器式交流电桥3.双T电桥二.二极管不平衡环形电桥三

3、.差动脉宽调制电路四.运算放大器式电路若传感器为变间隙式电容器五.调频式电路5.4两个要注意的问题一.分布电容的影响二.边缘效应的影响

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