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《电子束蒸发制备zno_al透明导电膜及其性能研究_王子健》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------电子束蒸发制备ZnO_Al透明导电膜及其性能研究_王子健第35卷第6期人工晶体学报Vo.l35No.6电子束蒸发制备ZnOBAl透明导电膜及其性能研究王子健,王海燕,郜小勇,吴芳,李红菊,杨根,刘绪伟,卢景霄(郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州450052)摘要:在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al透明导电膜,并对所得样品在400e下进行了退火处理。利用扫描
2、电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性。利用四探针对其进行了电学性质的测量,表明衬底温度为200e时制备的样品电阻率可达6@10-38#cm。关键词:电子束蒸发;ZnOBAl薄膜;衬底温度中图分类号:O484文献标识码:A文章编号:1000-985X(2006)06-1355-04ResearchinElectricalandOpticalPropertiesofZnO:AlFilmsPreparedbyElectronBeamEvaporationWANGZi-jian,WANGHai-yan,GAOXiao-yo
3、ng,WUFang,LIHong-ju,YANGGen,LIUXu-wei,LUJing-xiao——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------(KeyLaboratoryofMaterialPhysicsofMinistryofEducation,InstituteofPhysicsandEngineering,ZhengzhouUniversity,Zhengzhou
4、450052,China)(Received28February2006,accepted19July2006)Abstract:InthispaperZnO:Alfilmswerepreparedonglassbyelectronbeamevaporation.Andthesampleswereannealedat400e.ThepropertiesofthefilmswereinvestigatedbyX-raydiffractionspectrometerandscanningelectronmicroscopy.Theresultsshowthatthefilmshavehight
5、ransmittanceinthevisiblearea.Theresistivityofthefilmspreparedat200eis6@108#cm.-3Keywords:electronbeamevaporation;ZnO:Alfilms;substratetemperature1引言氧化锌是一种新型的宽禁带半导体材料,具有和GaN相同的六方晶格结构,有相近的晶格常数和禁带宽度[1]。它在紫外激光器、平面显示器、半导体器件、太阳电池、压电材料、航天等领域有广阔的应用前景,[2]是目前半导体材料的研究热点之一。掺铝氧化锌薄膜又称氧化锌铝(AZO)是一种重掺杂、高兼并的n型半导体材料
6、。它具有较低的电阻率,在可见光范围具有较高的透射率。与ITO和SnO2等常用的透明导电膜材料相比,具有无毒无污染、抗氢还原等特点。因此,被视为薄膜太阳电池前电极的理想材料。——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------目前,制备ZnO:Al的方法主要有磁控溅射、喷雾热解法、溶胶凝胶法、反应蒸发法、化学气相沉积法和收稿日期:2006-02-28;修订日期:2006-07-1
7、9作者简介:王子健(1982-),男,河南省人,硕士。通讯作者:卢景霄,教授。E-mai:ljxlu@zzu.edu.cn1356人工晶体学报第35卷电子束蒸发法等。其中电子束蒸发法具有对衬底无损伤,易于制备大面积薄膜等特点,对于已制成P-I-N结构的太阳电池背电极的制备具有重要的意义。因此,作为本实验室硅薄膜太阳电池工作的一部分,本文进行了电子束蒸发法在玻璃衬底上制备ZnO:Al透明导电膜的尝试。2实验电子束蒸发设备是
