pecvd保养作业指导书

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1、金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTDPEDCV保养作业指导书——翁自力一、简介PECVD（PiasmaEnhancedChemicalVaporDesposition）即“等离子增强型化学气相沉积”。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。整个系统主要包括以下主要部件：

2、带有阀门和真空泵的真空腔室（装载腔、反应腔、冷却腔、卸载腔）、等离子源、传送系统、工艺气系统、加热系统、冷却和动力系统，整个系统由计算机集中控制。如下图所示：1-装载腔2-反应腔3-冷却腔4-装载腔A-Viton真空密封装置B-微波密封圈上盖密封垫的位置金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTD1－室门1装载系统2－室门2装载腔－预热/反应腔3－室门3反应腔/冷却腔卸载腔4－室

3、门4卸物腔－转移阀门在腔室中的位置二、保养（1）保养目的：整个SiNA系统包含4个由4道阀门隔离起来的真空腔室。由于在等离子反应的原因，将会在腔室内部将会产生一层反应产物覆盖层，这将会增加抽真空的时间，并且影响到等离子反应，因此腔室需要进行周期性的清洁保养。（2）保养周期：144-168 h（6-7天）。（3）保养过程1、开启装载腔、冷却腔、卸载腔的上盖。具体操作步骤：通过选择操作屏上对应的上盖，点击“cover1”、“cover3”、“cover4”按钮，使按键变为淡绿色，在点击“open”按

4、钮，后同时按下控制面板上的两个控制按钮（1＋2）即可打开腔盖。金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTD2、清理装载腔、冷却腔、卸载腔。①用真空吸尘器吸走三个腔室内所有的杂质灰尘，并用无尘布或无尘纸蘸酒精擦拭冷却腔、卸载腔上盖表面。俯视装载腔（左面－底部；右面－安装有灯管加热的上盖）用蘸有酒精的无尘布擦拭冷却腔的俯视图（左-底部，右-上盖）金保利(泉州)科技有限公司GOLDPO

5、LYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTD用蘸有酒精的无尘布擦拭卸载腔的俯视图（左面-底部，右面-安装有附加铝板的上盖）②擦拭各个腔室阀门。用蘸有酒精的无尘布擦拭各个阀门上的Viton密封垫及其密封面。Viton密封垫密封面矩形的密封门以及密封面③清洁所有腔室的位置传感器。用带有一根软管的真空吸尘器对位置传感器前面的窗口进行清洁，按住软管直到软管压在最底部。金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYINTERNAT

6、IONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTD位置传感器器软管④擦拭各个腔室上盖的密封垫和密封面。用蘸有酒精的无尘布擦拭各个腔室上盖的Viton密封垫及其密封面。必须除掉密封圈上各种灰尘颗粒。①装载腔②反应腔③冷却腔④装载腔A-Viton真空密封装置B-微波密封圈红色线条为上盖密封垫的位置密封面Viton真空密封圈金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNO

7、LOGYINDUSTRYCO,LTD注意！氮化硅是一种坚硬的覆盖层，该覆盖层不但破坏上盖密封垫的表面，而且对密封垫造成破坏。3、关闭装载腔、冷却腔、卸载腔的上盖。具体操作步骤：通过选择操作屏上对应的上盖，点击“cover1”、“cover3”、“cover4”按钮，使按键变为淡绿色，在点击“close”按钮，后同时按下控制面板上的两个控制按钮（1＋2）即可关闭腔盖。注意！在盖上上盖之前，请检查O形密封圈及其密封面的洁净度4、关闭各腔室的阀门（Gate1、Gate3、Gate4）。具体操作步骤：通

8、过选择操作屏页面1上对应的按钮，点击“manualtransport”按钮，切换到页面2，点击“manual”按钮，按扭变为淡绿色（页面3所示），各个阀门被激活，可选择要开启的阀门，点击“gate”下的图标开启或关闭（在页面4操作）。页面1页面2金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTD关闭开启页面3页面45、开启反应腔的上盖。具体操作步骤：通过选择操作屏上对应的上盖，点击“c