石英玻璃之洗净方法

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1、石英玻璃之洗净方法石英玻璃在半导体工业设备上，使用温度经常在1000℃至1300℃之高温状态，在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生，失透之部分为石英之晶质化，晶质化之变态点为275℃，当石英玻璃自高温降至此变态温度时，表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状，更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久，就必须注意防止造成石英失透产生的原因，而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k就会造

2、成数十倍或数百倍的失透量。因此，防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。一般石英之洗净须要一些程序，首先用纯水先冲洗表面，再置入酸洗槽内浸泡一些时间，取出后再用纯水冲洗后晾干。酸液之种类如下：◆种类/项目浓度时间P_!◆氟酸（HF）47.0%~52.0%1~2分钟◆氟酸（HF）5.0%~10%10~15分钟◆氟酸+硝酸50%+65%10~15分钟_◆氟酸+硫酸50%+65%10~15分钟石英玻璃专利技术1、玻璃质材料管,特别是石英玻璃管的制

3、造方法2、不透明石英玻璃的制造方法、适于执行该方法的SiO颗粒和由不透明石英玻璃构成的部件g`3、不透明石英玻璃管生产用的硅石粉料坨的生产方法4、采用溶胶-凝胶法制备高纯石英玻璃的方法5、彩色石英玻璃管的制造方法6、超细石英玻璃管及其生产方法和设备7、大尺寸石英玻璃管的制造方法8、大尺寸石英玻璃熔化炉9、电阻炉生产石英玻璃的投料器10、多点夹持牵引式石英玻璃拉管装置11、二氧化硅粒子、合成石英粉、合成石英玻璃的合成方法12、辐照输液器中的石英玻璃管件13、高耐久性石英玻璃，其制造方法，使用它的部件及装置14、合成石

4、英玻璃制造方法15、环形石英玻璃管制作机16、黄色滤光石英玻璃及其制造方法17、堇青石--熔融石英玻璃质稀土粉料煅烧皿18、可多次使用的石英玻璃生产用石墨坩埚19、立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法20、内外经分别相等的石英玻璃厚壁管一次成型装置21、耐高温低膨胀高硼含量封接玻璃的制备工艺22、耐受激准分子激光的石英玻璃制造方法和石英玻璃部件23、能吸收紫外线的透明石英玻璃及其用途24、气炼法生产不透明乳白石英玻璃25、溶胶-凝胶法生产石英玻璃用的组合物26、生产管状石英玻璃产品的方法27、生产石英玻璃管的方法

5、和用于实现该方法的钻杆体28、石英玻璃的构造元件及其制造方法29、石英玻璃坩埚的制造方法30、石英玻璃管成型装置31、石英玻璃管烧口装置32、石英玻璃管自动定尺切割装置33、石英玻璃光导纤维制造方法34、石英玻璃及其制造方法35、石英玻璃喷镀部件及其制造方法36、石英玻璃熔炼炉水冷电缆供电装置37、石英玻璃体和石英玻璃支持部件的制造方法38、石英玻璃液体电加热管39、石英玻璃制品及其制备方法40、石英玻璃组合物41、石英玻璃组合物以及使用它生产石英玻璃的方法42、石英及玻璃材料中二阶极化率产生与增强的新方法43、双

6、效蒸发高酸后重稀土反萃液浓缩石英玻璃设备44、透明石英玻璃产品的制备45、透明石英玻璃厚壁管制造方法及装置46、无羟基透明石英玻璃的连续电熔法47、析晶温度高于石英玻璃的高温玻璃的制造方法48、一种立式合成石英玻璃沉积炉49、一种耐碱玻璃球的生产方法50、一种石英玻璃的氢氧焰燃烧器51、一种石英玻璃管的切割装置52、一种石英玻璃管拉制成型方法53、一种石英玻璃管拉制成型装置54、一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法55、用来制造石英玻璃体的方法56、用溶胶-凝胶过程制造石英玻璃的方法57、用于半导体制造的石英

7、玻璃构件58、用于标记石英玻璃灯的方法和用其所制造的石英玻璃灯59、用于制备石英玻璃的氯化锗和硅氧烷原料和方法60、用于制造石英玻璃基底材料的方法61、圆柱形石英玻璃部件的制造方法及其适用的装置62、在石英玻璃管制造中撤出芯棒的方法和装置63、制造石英玻璃板的方法和设备64、制造石英玻璃体的装置和方法65、制造石英玻璃预制件的方法66、制造一种石英玻璃的方法和装置67、制作石英玻璃的方法-68、制作石英玻璃的方法热性能电性能机械性能石英玻璃热膨胀系数是：5.5x10-7cm/cm.℃,是铜的1/34，是硼硅酸盐的1

8、/7，这一特性，使其用于光学镜头，高温窗口以及要求对热变化敏感达到最低的光学应用。石英玻璃具有良好的抗热冲击性能，将1毫米厚的石英玻璃片加热的1200度，迅速投入冷水中数次，也不会产生损坏。电性能1,h石英玻璃仅含有微量的碱金属离子，属不良导体。它的介电损失对全部频率都很小。作为固体绝缘体，其电气和机械性能远较其他材料优越。在常温下，透明和不透明石英玻璃的固